海绵娃娃
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细说光刻技术

关于光刻的书籍
书名:《IC Fabrication Technology》By BOSE
IT制造技术
细说一下光刻.
小于头发丝直径的操作会很困难,
所以光刻(比如说100nm)是怎么做的呢?
比如说我们要做一个100nm的门电路(90nm technology),
那么实际上是这样的:

细说光刻技术_第1张图片

这层掩膜是第一层,
大概10倍左右的Die Size(核心尺寸)有两种方法制作:
Emulsion Mask (乳胶掩膜)和 Metal MaskEmulsion Mask

★ Emulsion Mask

细说光刻技术_第2张图片

这货分辨率可以达到 2000line / mm
其实挺差劲的…
所以sub-micron(次微米) ,
也即um(微米)级别以下的 VLSI(超大规模集成电路)不用…
VLSI=Very Large Scale Integration

制作方法:
首先:
需要在Rubylith上面刻出一个比想要的掩膜大个20倍的形状
(大概是真正制作尺寸的200倍)
这个形状就可以用激光什么的刻出来
只需要微米级别的刻度

细说光刻技术_第3张图片

然后:
给它照相!

细说光刻技术_第4张图片

相片就是Emulsion Mask(乳胶掩膜)!
如果要拍的”照片”太大,
也有分区域照的方法.

★ Metal MaskEmulsion Mask

Metal Mask

制作过程:
先做一个Emulsion Mask,
然后用Emulsion Mask以及
我之前提到的17-18步做Metal Mask!
瞬间有种Recursion(递归)的感觉有没有!

Electron beam(电子束):
大概长这样

细说光刻技术_第5张图片

制作的时候移动的是底下那层.
电子束不移动.
就像打印机一样把底下打一遍.
好处是精度特别高,
目前大多数高精度的(<100nm技术)都用这个掩膜.
坏处是太慢…
做好掩膜后:
Feature Size = k*lamda / NA
k一般是0.4,
跟制作过程有关;
lamda是所用光的波长;
NA是从芯片看上去,
放大镜的倍率.
以目前的技术水平,
这个公式已经变了,
因为随着Feature Size减小,
透镜的厚度也是一个问题了
Feature Size = k * lamda / NA2

所以其实掩膜可以做的比芯片大一些.
至于具体制作方法,
一般是用高精度计算机探针 + 激光直接刻板.
Photomask(掩膜) 的材料选择
一般也比硅晶片更加灵活,
可以采用很容易被激光汽化的材料进行制作.

浸没式光刻

浸没式光刻，
利用了光波在液体中波长更短这一无比简单的原理，
将摩尔定律延长了10年，
人人都受益。
光刻是芯片制造的核心步骤，
2000年左右半导体业正在研究65纳米节点，
业界主流都在使用193纳米波长的光源，
这已经是传统光学的极限。
为了制造出更小的半导体器件，
就要使用156纳米的光源，
就只能用十万美元一克的氟化钙镜头，
折算下来镜头费用是芯片价值的一千倍。
intel当年为此投入十亿美金却毫无结果，
半导体业的未来一片昏暗。
这时美国林肯国家实验室想到了一招，
把芯片浸在水里光刻！
水的折射率是1.33，
光波长在水中是145纳米，
挑战迎刃而解。
而这一办法与已有的工艺很容易兼容，
改造成本也很低，
业界立刻全盘接受。
直到十几年后的今天14纳米节点，
浸没式光刻仍然是主流方法，
工程师们用上了折射率更高的液体，
业界普遍认为10纳米工艺浸没式光刻还有生机

这个光刻的方法绝对是个黑科技一般的点!
直接把Lamda(波长)缩小了一个量级,
With no extra cost!
Food for Thought: Wikipedia
上面关于掩膜的版面给出了这样一幅图,
假设用这样的掩膜最后做出来会是什么形状呢?

细说光刻技术_第6张图片

于是还没有人理Food for thought…

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  • Linux下的解压，移除，复制，查看tomcat命令 y806839048 tomcat
    重复myeclipse生成webservice有问题删除以前的，干净 1、先切换到：cd usr/local/tomcat5/logs 2、tail -f catalina.out 3、这样运行时就可以实时查看运行日志了 Ctrl+c 是退出tail命令。 有问题不明的先注掉   cp /opt/tomcat-6.0.44/webapps/g
  • Spring之使用事务缘由(3-XML实现) ihuning spring
      用事务通知声明式地管理事务   事务管理是一种横切关注点。为了在 Spring 2.x 中启用声明式事务管理，可以通过 tx Schema 中定义的 <tx:advice> 元素声明事务通知，为此必须事先将这个 Schema 定义添加到 <beans> 根元素中去。声明了事务通知后，就需要将它与切入点关联起来。由于事务通知是在 <aop:
  • GCD使用经验与技巧浅谈 啸笑天 GC
    前言 GCD(Grand Central Dispatch)可以说是Mac、iOS开发中的一大“利器”，本文就总结一些有关使用GCD的经验与技巧。 dispatch_once_t必须是全局或static变量 这一条算是“老生常谈”了，但我认为还是有必要强调一次，毕竟非全局或非static的dispatch_once_t变量在使用时会导致非常不好排查的bug，正确的如下： 1
  • linux（Ubuntu）下常用命令备忘录1 macroli linux工作ubuntu
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  • nodejs同步操作mysql qiaolevip 学习永无止境每天进步一点点mysqlnodejs
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      [一起学Hive]系列文章 目录贴，入门Hive，持续更新中。   [一起学Hive]之一—Hive概述，Hive是什么 [一起学Hive]之二—Hive函数大全-完整版 [一起学Hive]之三—Hive中的数据库(Database)和表(Table) [一起学Hive]之四-Hive的安装配置 [一起学Hive]之五-Hive的视图和分区 [一起学Hive
  • Spring开发利器：Spring Tool Suite 3.7.0 发布 wiselyman spring
    Spring Tool Suite(简称STS)是基于Eclipse，专门针对Spring开发者提供大量的便捷功能的优秀开发工具。   在3.7.0版本主要做了如下的更新：   将eclipse版本更新至Eclipse Mars 4.5 GA Spring Boot(JavaEE开发的颠覆者集大成者，推荐大家学习)的配置语言YAML编辑器的支持(包含自动提示，
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