中易净化工程带你了解洁净室行业的技术水平和特点

行业市场规模

从目前我国洁净室行业市场发展来看，电子信息、航空航天、精密仪器、医药卫生等行业的持续增长，极大地推动了洁净室的市场需求，进而带动洁净室工程行业的大发展。根据中国电子学会综合测算，2007年中国洁净室工程行业整体市场规模为 217.14 亿元，尽管其间受 2008 年全球金融危机的影响，部分行业需求下降，波及到洁净室工程行业，但 2009 年下半年起，受国家发布电子信息产业调整和振兴规划、电子信息产品市场需求释放等因素的影响，行业对洁净室的需求迅速恢复，使洁净室工程行业市场回暖。截止到2011年整个洁净室工程行业市场规模达到387.77 亿元，五年间的年均复合增长率平均为 15.6%。

 行业技术水平和特点

（1）更高的技术适应性与灵活性

科学技术的发展很快，高科技的产品不断出现，尤其是电子工业的发展更是日新月异，像集成电路的发展两三年就更新一代。IC芯片的发展遵循“摩尔定律”（Intel 公司创始人之一 Gordon E.Moore 1965 年预言），芯片上可容纳的晶体管数目（即集成度）每18个月便可增加1倍。10年（2000年 -2010 年）间我国 IC的主流技术由 5 英寸、6英寸、0.5 μm 以上工艺水平提升到8 英寸 0.18μm~0.25 μm，12 英寸、110 nm~90 nm~65 nm。表征工艺水平的最小线宽（即特征尺寸 f e a tu r es i z e ），目前已进入纳米（n m ）级，“中芯国际”32/28nm 已取得关键技术突破，将在“十二五”中期进入量产。TFT-LCD 的发展速度更快，一二年就上一个台阶：北京京东方TFT-LCD薄膜体管液晶显示器5代线（基板尺寸1100 mm×1300mm）刚投产，即开始建设合肥京东方 6 代线（基板尺寸1500 mm × 1850 mm）；不到 2 年又开始北京京东方8.5 代线（基板尺寸 2200 mm × 2500mm）的建设。目前中电熊猫正规划 TFT-LCD 10代线（基板尺寸 2889 mm × 3130 mm）的建设。这就要求为其服务的高级别的洁净室必须能适应其发展速度，有极好的灵活性和适应性，以满足微电子、光电子等生产工艺不断发展进步的要求。建造一个洁净厂房投入成本高，使用时间长，不是一二年就会拆掉重建。因此，在洁净室设计与建造时必须考虑到生产工艺流程的不断发展和变化，使洁净室具备更好的适应性和灵活性。对于洁净室工程行业来说，在施工过程中，或者是在洁净室使用过程中，都会因为生产工艺流程的改变引起的气流组织、设备容量等方面的变化而导致设计的改变，而这种变更需要在前期设计时预留好变更的空间，否则将会为后期的改变埋下隐患。

（2）相关工艺复杂，技术风险大

洁净室通常用于对环境要求较高、工业流程复杂的高科技行业，以及对人民群众的生命健康造成威胁的医疗卫生和食品行业。在洁净室受控空间中，偶尔有一个大分子的出现，或者是一个细菌的产生都会对成品率和人民的生命健康造成巨大的影响。如一个细菌如果得不到及时的处理，则可能在几个小时之内就会形成一个大的菌落；而大粒子的出现则有可能造成一批次产品的报废，严重的情况下甚至导致洁净室的报废。而在气流组织中，如果人员或半成品的流动造成了对洁净室气流的特殊扰动，就会打破洁净室内部气流平衡，引发各洁净区域之间气流的串扰，造成难以估量的损失。

（3）设计和施工复杂，建造费用高

高级别洁净室的建造费用很高，一般来说，优于 100 级（FS 209）单向流的洁净室，其室内装修（墙、顶、地、门、窗等）和空调净化系统（包括制冷空调设备和管道配件、净化设备和配件等）的初投资大约为人民币 10000 元 /m2。如果加上纯水制备设备和系统管道，纯气发生和系统管道，废水治理设备和管道，消防系统，供配电和自控系统，真空清扫系统，等等，其单位面积的建造投资费用高达 25000~30000 元 /m2。如此高的建造费用，也未必保证洁净室的百分百合格，在庞大的洁净室系统和洁净环境的设计和施工过程中，潜在的问题多，未能受控的污染源，譬如少量的微粒、轻微的气流扰动、微小的震动都会导致整个洁净室的环境失控。洁净室需经过空态、静态和动态的验收，任何一个环节都可能存在风险，同时，在工厂正式运作后，洁净室出现问题的可能也很大。因此，洁净室工程行业企业面临巨大的技术风险，以及后续洁净室运行、维护和调试、检测的压力。