SECS/GEM/GEM300/EAP 讲解（三）半导体协议

来自secs/gem网站 www.secsgem.cn

第一章 介绍
第二章 GEM 收集事件
第三章 数据轮询
第四章 GEM 工厂应用支持
第五章 报警
第六章 配方管理
第七章 文档
第八章 设备终端服务
第九章 用户界面
第十章 GEM消息假脱机功能
第十一章 协议层
第十二章 消息日志
第十三章GEM 控制状态
第十四章 总结

目的 GEM为所有半导体制造设备定义了SECS-II的标准实施。 GEM标准定义了一套通用的设备行为和通信功能，可提供支持半导体设备制造商制造自动化程序的功能和灵活性。 设备供应商可提供未包含在GEM中的其他SECS-II功能，只要附加功能不与GEM中定义的任何行为或功能冲突即可。 此类添加可能包括SECS-II消息，收集事件，警报，远程命令代码，处理状态，可变数据项（数据值，状态值或设备常量），或类别特有的其他功能（蚀刻器，步进器等） 。）或特定设备实例。

范围

SECS/GEM标准不会尝试在通信链路中定义主机的行为。主计算机可以随时启动任何GEM消息场景，设备应按照GEM标准中的描述进行响应。当主机或设备启动GEM消息场景时，当主机使用适当的GEM消息时，设备应以GEM标准中描述的方式运行。

通讯

SECS/GEM 通信状态模型 - 通信状态模型定义了与主机是否存在通信链路相关的设备行为.通过定义“建立通信”功能扩展了本节。此模型适用于设备和主机之间的逻辑连接，而不是物理连接。

控制状态

SECS/GEM 控制状态模型Control State Model - CONTROL状态模型定义主机和设备之间的协作级别。它还指定了操作员如何在不同级别的主机控制下进行交互。虽然COMMUNICATIONS状态模型解决了主机和设备交换消息的能力，但CONTROL模型解决了设备对其接收的消息采取行动的责任。

设备处理状态

SECS/GEM 必须记录设备在执行其预期功能时的行为。该处理状态模型高度依赖于设备过程，技术和样式。但是，预计这些模型会有共同点。

设备能力

能力是由半导体制造设备执行的操作。 这些操作通过使用SECS-II消息的通信接口启动。 场景是按顺序排列以执行能力的一组SECS-II消息。 为清楚起见，可以在场景中包括其他信息。 对于每种功能，向读者提供目的陈述，相关定义，详细描述，要求和方案。

事件数据收集

SECS/GEM 事件数据收集为用户提供了一种动态且灵活的方法，可以根据个人数据表示和向主机的呈现来定制设备。基于事件的数据收集方法向主机自动通知设备活动，并且有助于监视设备和保持与设备的同步。

报警管理

SECS/GEM 报警管理功能提供主机通知和设备上发生的报警条件管理。

目的 - 历史上，没有设备报警的精确定义。因此，不同的解释导致不一致的实现。通过提供警报的更严格的定义来解决这个问题。

远程控制

SECS/GEM 此功能为主机提供对设备操作的一定程度的控制。

设备常数

SECS/GEM 此功能为主机提供了一种方法，用于读取和更改设备上所选设备常量的值。

物料移动

SECS/GEM 材料移动能力包括设备，缓冲器和存储设施之间的物质（WIP，工具，消耗材料等）的物理转移。材料的转移可以由操作员，AGV机器人，轨道或专用的固定材料处理设备来执行。

此功能在实施中受到限制，用于通知主机在设备端口处出现或移除材料。

设备终端服务

SECS/GEM 设备终端服务允许主机在设备的显示设备或设备操作员上显示信息，以便向主机发送信息。

SECS/GEM 设备终端服务允许工厂操作员从设备工作站与主机交换信息。

错误消息

错误消息为主机提供描述设备检测到的特定消息或通信故障原因的信息。

时钟

SECS/GEM 时钟功能使主机能够管理与设备和多个设备相关的时间相关活动和事件。

时钟功能的目的是为收集事件和报警报告启用时间戳。 时间戳对于解决主机的事件/警报发生的相对顺序和设备活动的调度是有用的。

假脱机Spool

SECS/GEM 假脱机是一种能力，设备可以在通信失败期间对主机发送的消息进行排队，并在通信恢复后随后发送这些消息。假脱机仅限于用户选择的流的主要消息。

假脱机的目的是提供一种保留设备消息数据的方法，否则这些数据可能会因通信故障而丢失。产生此功能的动机是保留用于跟踪材料和提高产品质量的有价值数据。绕线功能填补了SEMI E5标准的空白。过去，在没有假脱机功能的情况下，设备通常会丢弃无法传递的消息，或者完全关闭消息传递。在重新建立通信之后，主机意图立即启动线轴卸载过程。

控制

SECS/GEM 与控制相关的功能允许配置和操作控制状态模型。以这种方式，主机和/或用户可以修改设备的控制相关行为。

本节补充了的CONTROL状态模型描述。它定义了实现此模型的要求。

数据项

SECS/GEM 以下部分指定了所需的数据项和可变数据项。

除指定的格式限制外，所有数据项和可变数据项均遵循SEMI E5中包含的定义。

数据项限制 - 以下是本标准中指定的SECS-II消息使用的数据项的子集。本节中列出的每个数据项都受其SEMI E5定义的用法限制。大多数仅限于标准格式列表中的单一格式。本文档中包含的SECS-II消息使用但没有限制的数据项在此处不重复。

​一个数据项ALCD受其他格式的限制。请注意下面描述的此限制。