几种表面粗糙度测量方法

表面粗糙度您了解多少？表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度，其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。

表面粗糙度的评定方法

1.二维粗糙度评定
在常规工业加工领域中，Ra是常用的表面粗糙度评定参数，其定义为在取样长度L内，轮廓偏距的绝对值的算术平均值。

2.三维粗糙度评定
随着工业制造越来越精密化，特别是半导体和3C电子行业，传统的粗糙度评定为二维参数评定，评定的时候在一条线上进行评定，不能够完整地反映整个表面的全部信息，无法满足行业发展需求。

表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息，给出表面形成机理信息和研究表面的直观图像，三维评定从整体上对零件表面特征进行描述，具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。

Sa为表面算术平均高度，指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几何平均值，在取样区域D上，被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距离的算术平均，即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均，数学表达式如下。

几种表面粗糙度测量方案

1.SJ5760-R大量程粗糙度测量仪

SJ5760-R大量程粗糙度测量仪Z0轴行程±20µm_{±400µm，粗糙度测量范围Ra0.1μm}Ra64μm，可进行R参数、P参数、W参数、Motif参数等多种参数评定，应用非常广泛。

2.SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪
SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数，具有14mm大量程粗糙度测量范围，分辨率高达到次纳米级，系统残余误差极小（<2nm），非常适合测量大曲面（轴承、关节、精密模具、齿轮、叶片、非球面）的超高精度表面粗糙度及微观Pt轮廓。

SJ5730用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量

3.SuperView W1光学3D表面轮廓仪

SuperView W1光学3D表面轮廓仪，以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域，可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。

硅晶圆粗糙度测量

蓝宝石粗糙度测量