芯片制程中温度的几种表示方法

在众多影响芯片制程的因素中，温度控制被视为一项至关重要的技术。温度是比较一种物质相对于另一种物质是冷还是热的衡量标准，它会影响到芯片的性能、可靠性以及最终产量。在不同的制程步骤中，温度扮演着各种各样的角色。但是在评价制程温度高低的时候，有几种表示方法呢？以及每种温度表示方法之间又是如何联系的？为什么会有不同的表示方法呢？那现在就让我们一探究竟。

温度的三种表示方法
目前存在的三种温度表示形式：摄氏度（℃），华氏度（℉）和开尔文（K）。

1. 摄氏度（Celsius）：摄氏度的基准点定义为水的冰点和沸点，分别在一大气压下定义为0度和100度。它是最常用的温度标度之一，被广泛应用于世界大多数地区（除了美国等少数国家）。

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4. 华氏度（Fahrenheit）：华氏度在美国和一些岛国仍然被广泛使用。华氏温标以水的冰点为32度，沸点为212度。这种温标的主要优点是它的刻度更细，比摄氏度更适用于气象学和日常生活的温度测量。

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6. 开尔文（Kelvin）：开尔文是以绝对零点为基准，定义为0开。开尔文与摄氏度的大小单位相同，但是它们的起点不同。1开尔文的增量与1摄氏度的增量相等，但是开尔文的零点是在绝对零度，即−273.15摄氏度。开尔文广泛用于科学研究，因为在这些领域，人们经常需要使用绝对温度。

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三种温标的历史
摄氏温标：瑞典天文学家Anders Celsius在1742年提出了摄氏温度计的概念。原始的Celsius温标的设定与我们现在所使用的摄氏温度标度正好相反，他设定的是冰点为100度，沸点为0度。然而，在1744年Celsius去世后不久，瑞典的科学家Carl Linnaeus将这个温度标度反过来，设定水的冰点为0度，沸点为100度，形成了我们今天所熟悉的摄氏温度标度。这种方式更符合我们直觉上对热和冷的感知。

华氏温标：华氏温标是由德裔荷兰科学家Daniel Gabriel Fahrenheit于 1724 年创建的，Fahrenheit使用了三个固定的温度点。0度是以他可以获得的最冷的冰，水，盐的混合物为基准的，他的32度是基于冰水混合物的温度，212度则是水的沸点。之所以选择这样的标度，是因为他观察到在他的实验室条件下，水的沸点和最冷混合物之间恰好相差180度。

开氏温标：开尔文温度标度是由开尔文勋爵（Kelvins） 于在1848年提出的。开尔文勋爵为了研究和描述绝对零度，发明了他的温度标度，以绝对零度为起点，这种温度标度被称为“绝对温度标度”，而单位则被称为“开尔文”。在开尔文温度标度中，绝对零度被定义为0K，任何温度都不可能低于绝对零度。

三种温度的转换                      ℉=9/5℃+32                        K=℃+273

在芯片厂，这三种温标在不同国家的机台设备和工艺制程中均可能出现，因此一定要注意区分，以免造成工艺问题。