Bonnie1985119
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VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

光栅及超表面微纳结构的设计与仿真

光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。

第一天

光栅结构建模
在VirtualLab Fusion中搭建光学系统
光栅的建模
 光栅仿真算法比较
薄元近似法（Thin Element Approximation）
傅里叶模态法（Fourier Modal Method）
光栅严格分析实例
闪耀光栅
光栅与偏振
非傍轴衍射分束器分析
 光栅设计与优化
倾斜光栅结构参数优化
公差分析
高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
Q&A

第二天

二维光栅结构建模
体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光）
利用全息光栅抑制高阶衍射级次
二维光栅设计优化
抗反射蛾眼结构设计
公差分析
纳米柱的严格分析
共振光子晶格仿真
超表面微纳结构
超表面分光光栅设计
设计和分析超透镜
亚波长周期结构的波片实现偏振控制
包含光栅的光学系统仿真
光栅衍射测量
结构光照明的显微镜系统
微结构晶圆检测系统
泰伯效应
Q&A
————————————————

                     

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