Taofca
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CD 的一些干货

CD critical dimension 关键尺寸

SEM

扫描式电子显微镜（scanning electron microscope），简称扫描电镜（SEM）。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，鉴定样品的表面结构。

常见的CD 量测分类

根据量测机器种类有

OCD：optic CD 光学机器，也称scatter

SEM-CD

根据工艺分类有

ADI-CD 显影后CD

ACI-CD 刻蚀清洗后CD

…………

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