半导体物理与器件 第五章—载流子输运现象

LEC3

文章目录

  • LEC3
        • 空穴漂移电流密度
        • 电子漂移电流密度
            • `弱电场情况下`,电子的平均漂移速度也与电场强度成正比。但是由于电子带负电,电子的运动与电场运动相反
        • T=300时,低掺杂浓度下的迁移率典型值P114表5.1 {ignore=true}
        • 所以,总漂移电流密度是电子漂移电流密度和空穴漂移电流密度的和 {ignore=true}
          • 1.晶格散射
          • 2. 电离杂质散射
          • 3.总迁移率
        • 5.1.3电导率

在电场作用下,粒子不断被加速和减速,最终将会达到平均漂移速度
平均漂移速度与电场强度成正比


空穴漂移电流密度

J p ∣ d r f = ( e p ) v d p = e μ p p E J_{p|drf}=(ep)v_{dp}=e\mu_{p}pE Jpdrf=(ep)vdp=eμppE

电子漂移电流密度

J n ∣ d r f = ρ v d n = ( − e n ) v d n J_{n|drf}=\rho v_{dn}=(-en)v_{dn} Jndrf=ρvdn=(en)vdn

弱电场情况下,电子的平均漂移速度也与电场强度成正比。但是由于电子带负电,电子的运动与电场运动相反

故有
v d n = − μ n E v_{dn}=-\mu_{n}E vdn=μnE
其中: μ n \mu_{n} μn是电子的迁移率,为正值
故有 J n ∣ d r f = ( − e n ) ( − μ n E ) J_{n|drf}=(-en)(-\mu_{n}E) Jndrf=(en)(μnE)
注意漂移电流方向依然与外加电场方向相同

T=300时,低掺杂浓度下的迁移率典型值P114表5.1 {ignore=true}

所以,总漂移电流密度是电子漂移电流密度和空穴漂移电流密度的和 {ignore=true}

J d r f = e ( μ n n + μ p p ) E J_{drf}=e(\mu_{n}n+\mu_{p}p)E Jdrf=e(μnn+μpp)E
电子的迁移率
μ n = e τ c n m c n ∗ \mu_{n}=\frac{e\tau_{cn}}{m^{*}_{cn}} μn=mcneτcn
τ c n \tau_{cn} τcn为电子受到碰撞的平均时间间隔
半导体中有两种主要的散射机制影响载流子的迁移率

  1. 晶格散射(声子散射)
  2. 电离杂质散射
1.晶格散射

与原子的热运动有关,是温度的函数
μ L ∝ T − 3 2 \mu_{L}\propto T^{\frac{-3}{2}} μLT23
温度下降时,晶格散射减少,迁移率增大。
轻掺杂半导体中,晶格散射占主导地位

2. 电离杂质散射

室温下杂质已经电离,电子和空穴与电离杂质之间存在库伦作用,因而改变了迁移率。
定义 μ I \mu_{I} μI为只有电离杂质散射存在时的迁移率,则有:
μ I ∝ T + 3 2 N I \mu_{I}\propto \frac{T^{\frac{+3}{2}}}{N_{I}} μINIT2+3 其 中 N I = N d + + N a − 表 示 半 导 体 电 离 杂 质 总 浓 度 其中N_{I}=N^{+}_{d}+N^{-}_{a}表示半导体电离杂质总浓度 NI=Nd++Na
温度升高, μ I \mu_{I} μI增大;温度减小, μ I \mu_{I} μI减小

3.总迁移率

1 μ = 1 μ I + 1 μ L \dfrac{1}{\mu}=\dfrac{1}{\mu_{I}}+\dfrac{1}{\mu_{L}} μ1=μI1+μL1 其 中 : μ I 、 μ L 分 别 为 仅 有 电 离 、 晶 格 散 射 的 情 况 其中:\mu_{I}、\mu_{L}分别为仅有电离、晶格散射的情况 μIμL

5.1.3电导率

回顾漂移电流密度:
J d r f = e ( μ n n + μ p p ) E = σ E J_{drf}=e(\mu_{n}n+\mu_{p}p)E=\sigma E Jdrf=e(μnn+μpp)E=σE 其 中 σ 表 示 半 导 体 的 电 导 率 , 单 位 是 ( Ω ⋅ c m ) − 1 。 其中\sigma表示半导体的电导率,单位是(\Omega·cm)^{-1}。 σ(Ωcm)1
电阻率是电导率的倒数,用 ρ \rho ρ表示,单位是 ( Ω ⋅ c m ) − 1 (\Omega·cm)^{-1} (Ωcm)1
电阻率公式为:
ρ = 1 σ = 1 e ( μ n n + μ p p ) \rho=\dfrac{1}{\sigma}=\dfrac{1}{e(\mu_{n}n+\mu_{p}p)} ρ=σ1=e(μnn+μpp)1 注 意 , 由 于 迁 移 率 的 影 响 , 曲 线 并 不 是 关 于 N d 或 N a 的 线 性 函 数 注意,由于迁移率的影响,曲线并不是关于N_{d}或N_{a}的线性函数 线NdNa线
半导体中的欧姆定律:条形半导体,长为L面积为A,则有:
V = ( L σ A ) I = ( ρ L A ) I = I R V=(\dfrac{L}{\sigma A})I=(\dfrac{\rho L}{A})I=IR V=(σAL)I=(AρL)I=IR
L = V E L=\dfrac{V}{E} L=EV
A = I J A=\dfrac{I}{J} A=JI

####5.1.4 饱和速度
对于电子,硅中实验载流子漂移速度与电场的关系可近似为:
v n = v s [ 1 + ( E o n E ) 2 ] 1 2 v_{n}=\dfrac{v_{s}}{[1+(\dfrac{E_{on}}{E})^{2}]^{\dfrac{1}{2}}} vn=[1+(EEon)2]21vs
对于空穴
v p = v s 1 + ( E o p E ) v_{p}=\dfrac{v_{s}}{1+(\dfrac{E_{op}}{E})} vp=1+(EEop)vs

T=300K下,有 v s = 1 0 7 c m / s , E o n = 7 ∗ 1 0 3 V / c m , E o p = 2 ∗ 1 0 4 V / c m v_{s}=10^{7} cm/s,E_{on}=7*10^{3} V/cm,E_{op}=2*10^{4}V/cm vs=107cm/s,Eon=7103V/cm,Eop=2104V/cm

显然,在弱电场情况下,漂移速度约为电场强度的线性函数

v n ≈ ( E E o n ) ⋅ v s v_{n}\approx(\dfrac{E}{E_{on}})·v_{s} vn(EonE)vs v p ≈ ( E E o p ) ⋅ v s v_{p}\approx(\dfrac{E}{E_{op}})·v_{s} vp(EopE)vs斜率是弱电场电子迁移率

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