SECS/GEM协议（GEM）

一 GEM的背景和范围

1.1 目的

1.2 范围

• 定义通信链路上的半导体设备的行为。
• 定义应使用哪些SECS-II消息，在什么情况下使用，以及产生的活动应该是什么。
• 不试图定义通信链路中主机的行为。
  

二 GEM的基本概念

GEM：制造设备的通信和控制通用模型
（ GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT ）
旨在规定以下内容

• 半导体制造设备行为模型（状态模型）

• 所需信息和控制功能的说明

• SECS-II基本通信能力的定义

• 标准消息对话

包含两种类型的要求

• GEM基本要求

• 附加GEM功能
  

三 Requirement 和 Capability

Fundamental GEM Requirements

• State Models 状态模型

• Equipments Processing States 设备处理状态

• Host Initiated S1F13/F14 Scenario 主机启动的S1F13/F14场景

• Event Notification 事件通知

• On-Line Identification 在线识别

• Error Messages 错误消息

• Control (Operator-Initiated) 控制（操作员启动）

• Documentation 文件

Additional GEM Capabilities

• Establish Communications 建立沟通
• Dynamic Event Report Configuration 动态事件报告配置
• Data Collection (Variable, Trace, Status) 数据收集（变量、跟踪、状态）
• Limit Monitoring 极限监测
• Alarm Management 报警管理
• Remote Control 远程控制
• Equipment Constants 设备常数
• Process Program Management 过程程序管理
• Material Movement 物料移动
• Equipment Terminal Services 设备终端服务
• Error Messages 错误消息
• Clock 时钟
• Spooling 后台处理

四 状态模型

4.1 状态模型是什么？

状态模型以一种紧凑和易于理解的格式从主机的角度描述设备的行为。
不同设备的状态模型在某些领域(如通信)将是相同的，但在其他领域(如处理)可能会有所不同。
因而需要把一个设备分为并行的几个模块，这些模块既可以单独的建模又可以合并起来，如下图所示：

设备制造商必须使用状态模型方法来记录其设备的运行行为，状态模型的文档应包括以下三个要素：

• 显示系统或系统组件的可能状态以及从一个状态到另一个状态的所有可能转换的状态图。这些状态和转换都必须各自进行标记；
• 一个过渡表，列出每个过渡、开始和结束状态、触发过渡的因素，以及作为过渡的结果所采取的任何行动；
• 每个状态的定义，指定当该状态为活动状态时的系统行为。
  

4.2 状态模型方法

• 状态模型的基本单位是状态。
• 一个状态是一组静态的条件。如果满足这些条件，则该状态为当前状态。这些条件可能涉及传感器读数、开关位置、工作时间等。
• 一个状态的另一部分是对特定刺激的反应的描述(例如，如果接收到消息Sx，Fy，生成回复消息Sx，Fy+1)。刺激可能相当多样，但对于半导体设备，将包括接收到的SECS消息、到期的计时器、设备终端的操作员输入以及传感器读数的变化。
  

4.3 Communication State Model

说明：

4.4 Control State Model

说明：

五 GEM Compliance State

六 SEM

• SEM (Specific Equipment Model)

为特定种类的专用设备准备的具体规格

• SEM 的种类

ISEM (Inspection and Review Equipment)
HSEM (Handler Equipment)
IBSEM (Inter Bay/Intra Bay AMHS)
STKSEM (Stocker)
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