XPS测试能谱数据如何处理-科学指南针

本文将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理XPS测试能谱数据：

1、多元素谱图数据处理

2、剖面分析数据处理

3、复杂谱图的解叠

一、多元素谱图的处理：

1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：

2、复制Y轴数值。打开ORIGIN，将Y轴数据粘贴到B（Y）：

3、如图：点击工具栏plot，选择line

4、出现下图：点击B（Y），再点击<->Y，使B（Y）成为Y轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。

5、点击OK，得到下图：

6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。

A. 位移：

1）如图：选择analysis→translate→vertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。

2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值）

3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值）  

4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处：

位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。

B、平滑

1）如图选择：

2）出现下面的小窗口

3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，选择“replace original”,如果想重新做图选“add to worksheet”，下面的数值不用改变）

4）点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图： 

二、剖面分析数据处理：

1、用写字板打开ASC码文件，选取所需要的元素

2、打开ORIGIN软件，如图示：选择column→add new columns

如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。

然后在B（Y）….J（Y）中依次输入不同cycle的Y轴数值

点击图中下方工具栏的waterfall

然后在下图中先输入X轴起始值及步长，再将Y值输入（点击B（Y），然后按住SHIFT键不放，再点击最后一个Y值选项：如E（Y），松开SHIFT 键，点击ADD 键。

点击OK得到下图：

应用修改工具得：（X OFFSET 设为0，Y OFFSET 设为100）注意谱线对应的CYCLE数

如果想要得到其中某一个cycle的谱图，只要调出原来的worksheet（数据表），再次点击waterfall。输入X轴数据，然后只选一组Y轴数据（和多元素分析一样），就可以了。

注：不同样品同种元素比较也可以用此种方法

三、谱图解叠：

和多元素分析步骤一样，经过平滑、位移,得到下图：（注：画图时，先输入X轴步长等，再输入Y轴数据）

1、去本底：选择tools→baseline

2、出现下面的窗口，选择baseline，将number of points后的参数改小一些，比如2，点击create baseline

3、出现下图：选择小窗口中的modify：

4、拖动每一点到合适的位置（点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置）：如图

5、然后选择substract得到

6、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值：

7、如图：选择analysis→Fit multi-peaks→gaussian

8、出现下面的窗口：按需要拟合的子峰个数输入

9、点击ok，得到：

10、点击OK默认选择，根据谱图的形状双击选择子峰位置（红十字代表峰顶）：如图

11、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。然后，选择analysisànon liner curve fit 如图：

12、得到：

13、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮

14、出现下图：

15、选择basic mode→start fitting回到原界面，点击1 lter和10 lter 直到出现新的子峰

16、上图明显也不合理，调节小窗口中各个子峰的数值 

17、然后点击下图中done按钮，再次选择analysis→non-linear curve fit,反复修改直到得到满意的谱图

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