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SMT2020：半导体制造流程标准仿真测试数据介绍

文章目录

  • 问题背景
  • SMT2020 涉及的主要功能
    • 1. 包含多种仿真模型类型
    • 2. 包含非计划性动作
    • 3. 区分不同类型设备的加工速率
    • 4. 特殊的复杂操作
  • SMT2020 数据概览
    • 1. AutoSched 仿真模型数据
    • 2. General Data 输入数据

问题背景

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