SMT2020:半导体制造流程标准仿真测试数据介绍

文章目录

  • 问题背景
  • SMT2020 涉及的主要功能
    • 1. 包含多种仿真模型类型
    • 2. 包含非计划性动作
    • 3. 区分不同类型设备的加工速率
    • 4. 特殊的复杂操作
  • SMT2020 数据概览
    • 1. AutoSched 仿真模型数据
    • 2. General Data 输入数据


问题背景

在半导体的生产制造当中,由于晶元片及设备等的高价值性,使得半导体制造业的研究人员需要在一个独立于实际之外的无风险环境测试生产调度策略,因此,离散仿真模拟 成为了半导体公司进行生产决策的重要支持工具1

然而,这些研究人员对工厂仿真的测试数据往往高度定制,尽管这有利于手头的工作&#x

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