2019-01-24山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产一期项目

山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产一期项目

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山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产一期项目

项目概况：

项目名称：集成电路用大尺寸硅材料规模化生产一期项目

建设单位：山东有研半导体材料有限公司

项目地点：山东省德州市经济技术开发区

项目性质：新建

投资规模：800000万元

起止年限：2018年7月-2020年12月

项目简介：

有研半导体材料有限公司系中央企业有研科技集团下属公司，为目前国内半导体硅材料领域技术水平最高、生产规模最大和具有国际水平的半导体硅材料研究、开发、生产基地。有研科技集团拥有12个国家级研究中心和实验室，是国内唯一国家半导体材料工程研究中心、国家企业技术中心、国家技术创新示范企业。

集成电路用大尺寸硅材料规模化基地项目（年产8英寸硅片276万片、6英寸硅片180万片、12-18英寸大直径硅单晶240吨）总投资80亿元，其中一期18亿元，二期62亿元。一期建设目标为新建8英寸硅片生产线，达到年产能180万片8英寸硅片，二期建设目标为年产360万片12英寸硅片。

项目进展：

山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产一期项目，该项目于2018年7月26日签约，目前处于前期筹备阶段，现在正在做施工图设计，预计年后正式启动，于2020年底建成投产，相关设备计划采取招标形式采购。如有合作意向，可与相关负责人联系。

主要设备（供参考）：

缺陷检测机、测试机、角度机、应力测试机、破碎测试机、Au蒸发装置、NiCr蒸发装置、Au BPS蒸发装置、显微镜、测试机、干燥机、清洗槽、溅射机、预清洗槽、烘箱、剥离装置、刻蚀机、光刻机、涂胶显影机、去胶机、剥离机、存储机、扫描电镜、清洗机、化学沉积台、计数器、测量仪、预清洗槽、尾气处理系统、刻蚀机、去胶机、对位机、涂胶显影机、金沉积工序、甩干机、台阶仪、刻蚀机、注入机、四探针测试仪、合金/退火炉、PCM测试工序、测试机、自动排序机、卸片工序、激光划片机、清洗槽、卸片机、张膜机、显微镜、框架机、测试机、剥离机、BSV溅射工序、预清洗机、镀金机、刻蚀机、预清洗槽、抽真空系统、光刻机、涂胶显影机、GE6刻蚀槽、测量仪、键合机、粘合机、显微镜、测量仪、研磨机、引线测试机、打标机、自动排序机、研磨机、化学蒸镀机、炉管机台、离子植入机、蚀刻机、曝光机、涂布机、溅镀机台、四探针测试仪、特气柜、CVD设备、净化层流罩、腐蚀清洗柜、特气柜、擦片机、甩干机、清洗机、匀胶机、光刻机、腐蚀机、扩散炉、抛光机、划片机、电子显微镜、全自动外观检测机、探针台、全自动激光雕刻机、全自动晶圆贴膜去膜机、切割机、测试分选机、自动检测仪、空压机、冷却塔、风机、各种水泵、氢氧化钠碱液喷淋洗涤塔、硫酸喷淋洗涤塔、沸石浓缩转轮焚烧系统、POU装置、酸性废气洗涤塔、食堂安装油烟净化设施、氨氮废水处理系统、含氟废水处理系统、铜制程含铜废水处理系统、研磨含铜废水处理系统、HF/IPA废水处理系统、有机废水处理系统、酸碱废水处理系统、最终中和处理系统、立体库、货架、叉车、托盘等。

联系方式：

建设单位：山东有研半导体材料有限公司

联系人：肖**

电话：010-8********

传真：010-6********

联系人：胡**

电话：010-8********

传真：010-6********

地址：山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号A座921室

对接单位：德州经济技术开发区科学技术局

联系人：王**

电话：0534-8********

地址：山东省德州市中元科技创新创业园