ASML EUV光刻机累计生产450万块晶圆：一台12亿元

　　作者：上方文Q

　　截至目前，华为麒麟 990 5G 是唯一应用了 EUV 极紫外光刻的商用芯片，台积电 7nm EUV 工艺制造，而高通刚发布的骁龙 765/骁龙 765G 则使用了三星的 7nm EUV 工艺。

　　EUV 技术能够落地商用，背后离不开荷兰巨头 ASML (阿斯麦)，整个 EUV 光刻机市场已经被他家垄断，现在的 7nm 工艺节点如此，未来的 5nm、3mm 节点也会如此。

　　近日，ASML 公布了一些有关 EUV 的有趣数据。

　　其实早在 2013 年，ASML EUV 光刻机就投用了，但头几年一直都是试验、试产性质，累计 300 毫米晶圆产量直到 2017 年才达到 110 万块，2018 年又生产了 90 万块，2019 年至今累计已达 450 万块，算下来从 2016 年到现在年复合增长率高达 95％。

　　其实，全球已部署投产的 EUV 光刻机也没多少，直到 2016 才不过区区 10 台，2018 年增加了 17 台，2019 年上半年增加了 11 台，目前总共 38 台。

　　目前投产的 EUV 光刻机型号都是 NXE:3400B，下半年将迎来新的升级版 NXE:3400C，每小时可生产最多 175 块 300 毫米晶圆——2014 年的时候可是每小时智能生产 10 块左右。

　　NXE:3400C 最大变化是模块化设计，维护更加便捷，平均维修时间将从 48 小时缩短到8-10 小时，支持 7nm、5nm。

　　ASML 的下一代 EUV 光刻机将是 EXE:5000 系列，面向台积电 3nm、Intel 5nm 工艺，引入 High NA (高数值孔径)透镜，从 0.33 转向 0.55，以匹配更先进的制造工艺，预计 2023 年上市。

　　至于这种 EUV 光刻机有多贵，据说三星不久前订购了 15 台，总价值 3 万亿韩元，折合人民币约 180 亿元，那么一台就是 12 亿元，堪称史上最贵半导体设备了。