一个密闭性能良好的洁净室，在使用过程中，主要的漏风途径有以下四种：
高效送风口的漏风;室内门、窗缝隙的漏风;开门过程中的漏风;风淋室、传递窗各种净化设备的漏风;室内配套设备的工艺排风。
1、缝隙漏风量计算
计算方法一：
v=1.29(△P)1/2
△V=S*v
△P：洁净室内外压力差(Pa)
v：从缝隙处流过的风速(m/s)
S：缝隙面积(m2)
V：通过缝隙的泄漏风量(m3/h)
例：假设条件：房间正压20pa，门缝长度3.6m，窗缝长度40m，假设缝隙宽度0.01m。门缝隙面积S1=0.01*3.6=0.072m2，窗缝隙面积S2=0.002*40=0.08m2。泄漏风量V=s*v=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2=(0.072+0.08)*3600*1.29*(20)1/2=3157m3/hr。
计算方法二：
压差法计算方式：
L=0.827×A×(ΔP)1/2×1.25=1.03375×A×(ΔP)1/2
式中L—正压漏风量(m3/s);0.827—漏风系数;A—总有效漏风面积(m2);ΔP—压力差(Pa);1.25—不严密处附加系数。
2、开门的泄漏风量
假设条件：房间正压ΔP=20Pa，门面积S3=0.9*2.00=1.8m2，风速v=1.29(△P)1/2=5.77m/s，开启次数n=1次/hr，开启时间t=5s。
泄漏风量Q=S3*v*t*n=1.8*5.77*5*1*=51.93m3/h。
每小时开一次门，开5秒，泄漏空气量51.93m3/h。
3、风淋室与传递窗的空气泄漏量
假设条件：风淋室体积15m3，密闭无缝隙。开闭顺序为(1)开→(1)关→(2)开→(2)关。
分析：以风淋室为例：
(1)开时A/S内压力为常压101325Pa，关时A/S内压力为常压101325Pa，保持不变。
(2)开时A/S内压力为常压101325Pa，保持不变，但稳定后压力变为与房间内同样压力101325+20pa，关时A/S内压力为常压101325+20Pa,保持不变。
结论：所以需要补充的空气量为15m3的空间压力变化为20Pa时的密闭空间的补气量。根据理想气体方程式PV=mRT，(P气压，单位Pa;V体积，单位m3;m气体质量单位kg;R气体常数等于287;T气体开氏温度，单位K，假设室内温度25℃，开氏温度为298K)。需补充空气质量m=(△P*V)/(R*T)=(20*15)/(287*298)=0.0035kg=3L。
相对来说风淋室及传递箱的泄漏量较小(密闭良好的情况下)，可忽略不计。
4、工艺排风泄漏风量
工艺排风泄漏风量即为工艺排风量。以上四种泄漏风量之和即为房间维持正压所需的送风量。
更为快速的计算方法：洁净时正压换气次数(次/时)，如表1正压换气次数经验数据表，通过此表，可以更快速的计算正压送风量,洁净室漏风原因分析及洁净室正压送风量计算方法。
例，洁净室要求正压为20Pa(表中第四行)，洁净室体积为100m3，洁净室是有外窗、密闭性较好的洁净室(表中第二列)，那么此洁净室维持正压所需的送风量V=换气次数2.5*100m3=250m3(不包括工艺排风)