热式气体质量流量计原理及应用

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个 温度传感器 。它们自动地补偿和 校正 气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
热式气体质量流量计即Mass Flow Meter（缩写为MFM），它是气体流量计量中新型仪表，区别于其它气体流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，一支传感器可以做到量程从极低到高量程。它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、医药、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。
特点：
（1）可靠性高，重复性好，测量精度高，压损小；
（2）无活动部件，量程比宽，响应速度快，无须温压补偿。
应用：
（1）工业管道中气体质量流量测量；
（2）烟囱排出的烟气流速测量；
（3）煅烧炉烟道气流量测量；
（4）燃气过程中空气流量测量；
（5）压缩空气流量测量；
（6）半道体芯片制造过程中气体流量测量；
（7）污水处理中气体流量测量；
（8）加热通风和空调系统中的气体流量测量；
（9）熔剂回收系统气体流量测量；
（10）燃烧锅炉中燃烧气体流量测量；
（ 11 ）天然气、火炬气、氢气等气体流量测量；
（12）啤酒生产过程中二氧化碳气体流量测量；

（13）水泥、卷烟、玻璃厂生产过程中气体质量流量测量。

slpm即英文stard liter per minute，即标准公升每分钟流量值，与lpm的通常无区别，但slpm规定了必须是常温常压状态下的标准公升，而lpm是指目前该物质的公升。