半导体真空泵应用注意事项，你get了吗？

半导体真空泵应用注意事项，你get了吗？

半导体工艺真空主要用在真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫，蒸发，溅射，PECVD等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，所以，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项。

第一、有效稀释有害气体的浓度

第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道，过滤、避免超压

第三、防止温度过高

第四、注意氧气的浓度

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险，因此一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；如果是油封机械泵可能还需要采用一些情性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

当我们在使用各类真空泵的时候 ，需要注意到导体中的使用安全注意事项，以及后期再使用时做好操作使用，如不了解，可以向专业的深圳恒才机电设备公司工程师询问，真空泵及真空解决方案等，一站式服务。