XPS问题收集及解答-科学指南针

在做X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

1.xpspeak适用哪一型号的仪器呢？

XPSPEAK可以处理任何XPS仪器导出的EXCEL数据，但其不带数据库和灵敏度因子，在谱峰校正、自动定性、定量分析上都有一定的局限性；建议用仪器自带的数据处理软件如AVANTAGE 和MULTIPAK;

2.稀土/过渡元素的结合能怎么变化呢？本身含有大量C-C键的聚合物怎么校准图谱呢？

稀土/过渡元素的结合能变化没有绝对的规律，谱峰结合能变化与其原子最外层电子排布有关；另谱峰里有卫星峰和多重分裂峰造成谱峰比较复杂，比较难分析；

C-C键的聚合物就是用284.8eV左右校正即可；

3.老师，请问全谱上的俄歇谱该怎么分析

全谱上俄歇谱只是辅助元素定性分析，如果要分析化学态，最好对俄歇谱峰做精细谱扫描；

4.老师能不能讲一下Cu，Cu-O的例子；

视频里有，在俄歇参数那里有讲解，主要看光电子谱峰结合能位置、卫星峰特点，和俄歇谱峰以及俄歇参数来确定铜化学态。

5.老师，峰偏移在多少范围是正常？

同种化学态的结合能不是一个精准数值，而是能量范围；所以与查询标准能量差正负0.5之内都是合理范围；当然同时要结合其他元素的谱峰和结合能一起判定；

6.刚第一张Mo5/2和3/2不同半峰宽？

视频中错误案例中是没有考虑轨道自选分裂峰，以及半峰宽设定，在标准数据处理中一定要考虑，Mo3d5/2和3d3/2的半峰宽相同（通过标准图谱可以判断）；

7.老师，请问峰偏移0.2ev是误差偏移么？

同种化学态的结合能不是一个精准数值，而是能量范围；所以与查询标准能量差正负0.5之内都是合理范围；当然同时要结合其他元素的谱峰和结合能一起判定；

8.NIST不是只有峰位吗，怎么查图呀？

视频里有演示网站查询步骤；请看视频回放；

9.我想问问老师ppt里面给出的标准峰位置的refs可以补充给出吗？

可能不太理解您说的补充什么？这些标准数据和文献资料都可以在我们推荐的资料或数据库和XPS数据网站上获得。

10.一般测试会有误差这一说么？差别零点几正常么， 不同矫正方法差别大么

样品导电性，测试条件都会带来误差，所以需要校正图谱的能量位置。

同种化学态的结合能不是一个精准数值，而是能量范围；所以与查询标准能量差正负0.5之内都是合理范围；当然同时要结合其他元素的谱峰和结合能一起判定；

不同校正方法当然有差别，但无论如何，最后都要看定性定量的合理性；

11.半导材料中元素的bind energy 与work function有关吗

这两个是不同的物理概念；

结合能（BINDING ENERGY）是原子核对核外电子的束缚能；

功函数(WORK FUNCTION)是指费米能级到真空能级的能量值；

12.如何非线性分峰的？

NLLS，软件里面集成了这种数据处理方法；但前提是必须有对应的标准图谱；

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