N7 LUP.2.3 DRC如何解决?

N7 LUP.2.3 DRC如何解决?_第1张图片

这个问题在Design Rule中的介绍如下图:

N7 LUP.2.3 DRC如何解决?_第2张图片解决办法是od 15 um的范围要加LUP_GR* cell,需要提高密度(加的位置需要符合tcic)去fix。

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