SECS/GEM EAP 设备自动化功能原理和设计方案

半导体EAP（Equipment Automation Programming）实现了对生产线上机台的实时监控，是工厂自动化不可缺少的控制系统。EAP系统与FAB中的机台紧密相关，系统的设计与开发必须与生产线的机台实际生产流程相一致，才能达到控制机台生产的目的。

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EAP SECS/GEM是MES与设备的桥梁，EAP通过SECS国际标准协议与机台进行数据传输。SECS是半导体设备（半导体行业称设备为机台）必须遵循的一种国际通信协议。EAP就是通过SECS与设备通信、传输数据、发送指令控制设备按照预先定义的流程进行生产加工，达到对设备远程控制和状态监控，实现设备运行的自动化。

EAP SECS/GEM是CIMS系统最低层的子系统，也是FAB中最为关键的系统之一。所有的生产过程，生产数据和机台状态数据都是通过EAP系统收集，然后传送给MES、AS等服务器对应的数据库，MES通过这些数据对产品和设备事件进行跟踪和监控。如果没有EAP SECS/GEM系统FAB中的CIMS就没有实际的意义，生产的自动化也就无从谈起。EAP系统的开发基于SECS/GEM国际标准协议。

（三）EAP在CIMS中的地位

EAP SECS/GEM是CIMS系统与设备系统联系最紧密的子系统，也是CIMS中底层的系统。FAB生产线实现自动化过程中，EAP是不可缺少的子系统。

（四）EAP在CIMS系统中的应用

1. EAP是CIMS中其他系统所需数据的数据源。EAP SECS/GEM为MES、AS、ERP等子系统提供各自所需的数据和信息，如产品参数、品质参数、生产线状况、材料状态以及机台状况等信息。而这些数据是上层制造管理系统或者资源规划、决策系统所必须的。

2. EAP SECS/GEM系统直接控制机台，使得CIMS系统的优势得到了充分的发挥。在半导体行业，为了确保产品合格率，厂家在生产自动化系统投入了大量的财力物力，生产的自动化达到了相当的程度。使得CIM的理念在半导体行业显现的更加有效和实用。

3. EAP SECS/GEM系统的实现不断推动CIM理论的发展和完善，促进了制造业生产技术不断提高，从硬件的设备系统到软件的管理系统都在不断的飞速发展，在汽车、半导体等流程工业领域全自动生产成为一种必然的趋势。