SECS/GEM300通讯平台设计

SECS/GEMM 标准为标准工厂自动化提供了框架，从远程主机监控和控制设备。 它是一种国际 公认和采用的标准，允许来自不同供应商的设备在制造工厂中自动化。 GEM 标准定义了一组基本的 GEM 要求和一组额外的 GEM 功能。 GEM 要求每个 GEM 界面中都包含特定元素。 但是，它鼓励每个接口都具有独特的机器特定元素。
协议和方案网站 www.secsgem.cn

SECSI意义和初衷
Revision History — This is the first major revision since the original release of SECS-I in 1980. Very little of the original intent of SECS-I has been altered, although there are a few significant additions. The changes are summarized in Appendix 1. This Specification has been developed in cooperation with the Japan Electronic Industry Development Association Committee 12 on Equipment Communications.
Intent — This Standard provides a means for independent manufacturers to produce equipment and/or hosts which can be connected without requiring specific knowledge of each other.

SECS协议
The SEMI Equipment Communications Standard Part 2 (SECS-II) defines the details of the interpretation of messages exchanged between intelligent equipment and a host. This Specification has been developed in cooperation with the Japan Electronic Industry Development Association Committee 12 on Equipment Communications.
It is the intent of this Standard to be fully compatible with SEMI E4, Equipment Communications Standard (SECS-I). It is also the intent to allow for compatibility with alternative message transfer protocols. The details of the
message transfer protocol requirements are contained in § 6.
It is the intent of this Standard to define messages to such a level of detail that some consistent host software may be constructed with only minimal knowledge of individual equipment. The equipment, in turn, may be constructed with only minimal knowledge of the host.
The messages defined in the Standard support the most typical activities required for IC manufacturing. The Standard also provides for the definition of equipment-specific messages to support those activities not covered by the standard messages. While certain activities can be handled by common software in the host, it is expected that equipment-specific host software may be required to support the full capabilities of the equipment.

GEM协议
GEM defines a standard implementation of SECS-II for all semiconductor manufacturing equipment. The GEM Standard defines a common set of equipment behavior and communications capabilities that provide the functionality and flexibility to support the manufacturing automation programs of semiconductor device manufacturers. Equipment suppliers may provide additional SECS-II functionality not included in GEM as long as the additional functionality does not conflict with any of the behavior or capabilities defined in GEM. Such additions may include SECS-II messages, collection events, alarms, remote command codes, processing states, variable data items (data values, status values or equipment constants), or other functionality that is unique to a class (etchers, steppers, etc.) or specific instance of equipment.
GEM is intended to produce economic benefits for both device manufacturers and equipment suppliers.
Equipment suppliers benefit from the ability to develop and market a single SECS-II interface that satisfies most customers. Device manufacturers benefit from the increased functionality and standardization of the SECS-II interface across all manufacturing equipment. This standardization reduces the cost of software development for both equipment suppliers and device manufacturers. By reducing costs and increasing functionality, device manufacturers can automate semiconductor factories more quickly and effectively. The flexibility provided by the GEM Standard also enables device manufacturers to implement unique automation solutions within a common industry framework.

HSMS协议
High-Speed SECS Message Services (HSMS) provides a means for independent manufacturers to produce implementations which can be connected and interoperate without requiring specific knowledge of one another.
HSMS is intended as an alternative to SEMI E4 (SECS-I) for applications where higher speed communication is needed or when a simple point-to-point topology is insufficient. SEMI E4 (SECS-I) can still be used in applications where these and other attributes of HSMS are not required.
HSMS is also intended as an alternative to SEMI E13 (SECS Message Services) for applications where TCP/IP is preferred over OSI.
It is intended that HSMS be supplemented by subsidiary standards which further specify details of its use or impose restrictions on its use in particular application domains.

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SECSI意义和初衷
修订历史——这是自 1980 年 SECS-I 最初发布以来的第一次重大修订。SECS-I 的最初意图几乎没有改变，尽管有一些重要的补充。附录 1 中总结了这些变化。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会 12 合作制定的。
意图——本标准为独立制造商提供了一种生产设备和/或主机的方法，这些设备和/或主机可以在不需要彼此特定知识的情况下进行连接。

SECS协议
SEMI 设备通信标准第 2 部分 (SECS-II) 定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会第 12 设备通信委员会合作制定的。
本标准旨在与 SEMI E4 设备通信标准 (SECS-I) 完全兼容。这也是允许与替代消息传输协议兼容的意图。的细节
消息传输协议要求包含在第 6 节中。
本标准的目的是将消息定义到如此详细的级别，以使某些一致的主机软件可以在仅对单个设备了解最少的情况下构建。反过来，可以仅在对主机了解最少的情况下构建设备。
标准中定义的消息支持 IC 制造所需的最典型活动。该标准还规定了设备特定消息的定义，以支持标准消息未涵盖的那些活动。虽然某些活动可以由主机中的通用软件处理，但预计可能需要特定于设备的主机软件来支持设备的全部功能。

GEM协议
GEM 为所有半导体制造设备定义了 SECS-II 的标准实施。 GEM 标准定义了一组通用的设备行为和通信能力，提供了支持半导体设备制造商的制造自动化程序的功能和灵活性。设备供应商可以提供 GEM 中未包含的附加 SECS-II 功能，只要附加功能不与 GEM 中定义的任何行为或能力相冲突。此类添加可能包括 SECS-II 消息、收集事件、警报、远程命令代码、处理状态、可变数据项（数据值、状态值或设备常量）或其他类独有的功能（蚀刻器、步进器等.) 或设备的具体实例。
GEM 旨在为设备制造商和设备供应商带来经济利益。
设备供应商受益于开发和销售满足大多数客户的单一 SECS-II 接口的能力。设备制造商受益于所有制造设备的 SECS-II 接口的增强功能和标准化。这种标准化降低了设备供应商和设备制造商的软件开发成本。通过降低成本和增加功能，设备制造商可以更快、更有效地自动化半导体工厂。 GEM 标准提供的灵活性还使设备制造商能够在通用行业框架内实施独特的自动化解决方案。

HSMS协议
高速 SECS 消息服务 (HSMS) 为独立制造商提供了一种方法来生产可以连接和互操作的实现，而无需彼此了解特定知识。
HSMS 旨在作为 SEMI E4 (SECS-I) 的替代方案，用于需要更高速通信或简单的点对点拓扑结构不足的应用。 SEMI E4 (SECS-I) 仍可用于不需要 HSMS 的这些和其他属性的应用中。
HSMS 还旨在作为 SEMI E13（SECS 消息服务）的替代方案，用于 TCP/IP 优于 OSI 的应用程序。
HSMS 旨在通过辅助标准进行补充，进一步详细说明其使用细节或对其在特定应用领域的使用施加限制。

SECSI意义和初衷
改訂履歴—これは1980年のSECS-Iの最初のリリース以来の最初の主要な改訂です。いくつかの重要な追加がありますが、SECS-Iの当初の意図はほとんど変更されていません。変更点は付録1にまとめられています。この仕様は、日本電子工業開発協会の機器通信委員会12と協力して作成されました。
意図—この規格は、独立した製造業者が相互の特定の知識を必要とせずに接続できる機器および/またはホストを製造するための手段を提供します。

SECS协议
SEMI機器通信規格パート2（SECS-II）は、インテリジェント機器とホスト間で交換されるメッセージの解釈の詳細を定義します。この仕様書は、日本電子工業開発協会機器通信委員会第12委員会と共同で作成したものです。
この規格の目的は、SEMI E4、機器通信規格（SECS-I）と完全に互換性があることです。また、代替メッセージ転送プロトコルとの互換性を可能にすることも目的としています。の詳細
メッセージ転送プロトコルの要件は§6に含まれています。
この規格の目的は、個々の機器に関する最小限の知識だけで一貫性のあるホストソフトウェアを構築できるような詳細レベルでメッセージを定義することです。次に、機器は、ホストの最小限の知識のみで構築することができます。
規格で定義されているメッセージは、IC製造に必要な最も一般的な活動をサポートしています。この規格は、標準メッセージでカバーされていない活動をサポートするための機器固有のメッセージの定義も規定しています。特定のアクティビティはホスト内の共通ソフトウェアで処理できますが、機器の全機能をサポートするには、機器固有のホストソフトウェアが必要になる場合があります。

GEM协议
GEMは、すべての半導体製造装置に対するSECS-IIの標準実装を定義しています。 GEM規格は、半導体デバイスメーカーの製造自動化プログラムをサポートする機能と柔軟性を提供する、機器の動作と通信機能の共通セットを定義しています。機器サプライヤは、追加の機能がGEMで定義された動作または機能のいずれとも競合しない限り、GEMに含まれていない追加のSECS-II機能を提供できます。このような追加には、SECS-IIメッセージ、収集イベント、アラーム、リモートコマンドコード、処理状態、変数データ項目（データ値、ステータス値、または機器定数）、またはクラスに固有の他の機能（エッチャー、ステッパーなど）が含まれる場合があります。 。）または機器の特定のインスタンス。
GEMは、デバイスメーカーと機器サプライヤーの両方に経済的利益をもたらすことを目的としています。
機器サプライヤは、ほとんどの顧客を満足させる単一のSECS-IIインターフェイスを開発および販売する機能の恩恵を受けています。デバイスメーカーは、すべての製造装置にわたるSECS-IIインターフェースの機能性と標準化の向上から恩恵を受けています。この標準化により、機器サプライヤとデバイスメーカーの両方のソフトウェア開発のコストが削減されます。コストを削減し、機能を向上させることで、デバイスメーカーは半導体工場をより迅速かつ効果的に自動化できます。 GEM標準によって提供される柔軟性により、デバイスメーカーは、共通の業界フレームワーク内に独自の自動化ソリューションを実装することもできます。

HSMS协议
高速SECSメッセージサービス（HSMS）は、独立したメーカーが相互に特定の知識を必要とせずに接続および相互運用できる実装を作成するための手段を提供します。
HSMSは、高速通信が必要なアプリケーション、または単純なポイントツーポイントトポロジでは不十分なアプリケーション向けのSEMI E4（SECS-I）の代替として意図されています。 SEMI E4（SECS-I）は、HSMSのこれらの属性やその他の属性が不要なアプリケーションでも引き続き使用できます。
HSMSは、OSIよりもTCP /IPが優先されるアプリケーション向けのSEMIE13（SECSメッセージサービス）の代替としても意図されています。
HSMSは、その使用の詳細をさらに指定したり、特定のアプリケーションドメインでの使用に制限を課したりする補助的な標準によって補完されることが意図されています。