微差压传感器、呼吸传感器

微差压传感器、呼吸传感器

微差压传感器、呼吸传感器_第1张图片

原理

利用MEMS技术加工的硅压阻式压力敏感芯片。该压力敏感芯片由一个弹性膜及集成在膜上的四个电阻组成,四个压敏电阻形成了惠斯通电桥结构,当有压力作用在弹性膜上时电桥会产生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号。

参数

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外形、引脚定义

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选型

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电路

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