电子显微镜下的CPU:Pentium III“验尸”

对于CPU的核心部分,通常我们只在幻灯片中才能见到示意图,很少有人亲自在微观尺度下检验过到底是什么样子。而这位小学/初中教科学课的瑞典教师为了教学需要,借来了一颗Pentium III 800EB Coppermine CPU,用电锯拆解后放到电子显微镜下拍摄了一组照片,虽然他用的普通电镜分辨率最大只有2000nm,没有移除金属层还不足以看到晶体管的细节,不过即使是在10000nm分辨率的等级也足以让我们看清平常天天打交道的CPU核心部分。


验尸前全身照,需要移除包括蓝色核心部分盖子以外的全部


背面照,针脚与核心中接点一一对应


我锯我锯我锯锯锯……


核心掀掉一块


掀掉的部分

有意思的部分来了,光学显微镜下的上面那一小块


原来是CPU核心的一部分


调整一下焦距和放大倍数


原来是CPU里面的金属层


上层


中层


底层

接下来要看更多细节就只能让隧道扫描电子显微镜(SEM)出场了

 


侧面照,那些金属小点直接连接至下面的电路部分


加大分辨率,点与点之间填充的应该是某种高分子化合物


似乎可以看见硅芯片表面的的一些细节了


继续加大分辨率,可以看出元件分层状况


10微米分辨率下已经清晰可见


200纳米分辨率,铜矿核心后期的工艺为0.18微米,


再来一张整体预览


要看到下面的晶体管必须去除上面这些层

文/驱动之家

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