“上海造”平板显示屏光刻机进入生产线

       日前，“上海造”首台4.5代高分辨率平板显示屏光刻机，在上海微电子装备公司下线进入上海天马用户生产线。这是继先进封装光刻机之后，上海集成电路装备领域的又一次突破。而这背后离不开上海科技创业投资（集团）有限公司的资本助力。

　   去年8月18日，上海最早组建的风险投资公司上海科技投资公司与上海创业投资有限公司战略重组成立上海科创集团，成为上海乃至全国最大的国有创业投资机 构之一。目前，上海科创集团资产总额超过69亿元，受托管理政府专项资金100亿元，所涉的投资领域创造了近10万个就业岗位。

　　上海科创集团负责人表示，聚焦上海战略性新兴产业，坚持引导性的定位，同时兼顾市场化原则，是科创集团作为国有投资基金的特色。特别是，在一些风险高、投入大的先导性产业，要发挥示范带动效应，弥补市场的缺位。

　　13年前，国家科技部重大科技专项100纳米高端光刻机研制任务落户上海。业界公认，高端光刻机制造难度巨大，号称人类制造最精密的设备，全世界只有荷兰ASML，日本Nikon、Canon具备该设备的制造能力。

　　上海微电子装备副总经理贺跃进表示，当时考虑到光刻机是智能装备最终要产业化，因此决定用公司的方式，而不是传统科研机构研究后再产业化的路子。但，由于国内没有任何参照物，而且存在失败风险。

　而上海科投，吃下了这只“螃蟹”，成为新公司的发起人之一，当起了大股东。这一当，就是十几年。如今，上海微电子装备已经实现集成电路先进封装光刻机、 平板显示光刻机、高亮度LED三个类型的产业化，封装光刻机更是占据国内市场份额的90%左右，一举打破了国外的长期垄断。

　　在集成电 路领域的另一国家重大专项——极大规模集成电路制造中的等离子体刻蚀机，也镌刻下了上海科创集团的身影。承担这项历史重任的中微半导体设备有限公司由上海 创投参与发起设立。同样，历经十年培育，才迎来开花结果之日。如今，中微用于极大规模集成电路芯片制造前道的等离子体介质刻蚀设备已经实现量产，这款设备 决定了集成电路的线宽和集成度，更决定了国内集成电路产业发展的高度。

　　上海科创集团也由此初步建立起围绕集成电路等战略性新兴产业的 投融资机制。集团负责人表示，未来将加大对“四新经济”的投资，重点投资机器人、3D打印、智能传感器等引领制造业发展趋势的重点方向，智慧照明、移动医 疗、车联网等制造与服务相融合的先进方向，以及网络视听、互联网金融等跨界融合催生的新型服务业态。

解放日报