SILVACO 学习笔记

silvaco 学习笔记

第一章  仿真基础

主要认识了什么是silvaco,然后具体操作要按照1.3的语法格式进行，本章不多说了。

基本语法：

“|” 号表示两边的参数选其一
不要随便加空格 加了以后就会影响读取， QSTRING表示字符串，但凡可以由字符串表示的物理量都能用QSTRING 表示，Tonyplot 中可以显示的量都可以作为。

expr命令为Linux中的命令，一般用于整数值计算，但也可用于字符串操作。'expr'支持普通的算术操作，算术表达式优先级低于字符串表达式，高于逻辑关系表达式。

命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开；

Silvaco 中字符串参数的命名规则很简单，很易读。 如果参数只有一个属性，则用一个单词就可以表示，如“硅” 用单词 silicon，“材料” 用单词 material 表示。如果参数具有两个或多个属性，则参数的名称将由两个或多个单词的缩写拼接而成，单词之间由点连接，一般是左边的参数限定或说明右边的参数。例如“温度的值”（temp.val），“偏置的步长”（bias.step），“材料的序号”（mat.occno，“occno”是 number of occurrence 的意思）， “某二维区域内的最大浓度”（2d.max.conc）等。对于特定的命令如果仿真语句中没有给出参数值则会采用默认值，用户可以查询手册来了解默认值极其默认单位。
 

维度：因为在初始化时没有“two.d”参数，所以默认从一维仿真开始。ONE.D， TWO.D， AUTO： 仿真的初始维度，如果是 ONE.D 则需设定 X.LOCAT 参数。默认是 AUTO，即一开始采用一维计算直到需要采用二维计算（通常从 etch 开始）。 比如书中例子：图 2.4是 auto 的结果，而图 2.9 是在初始化时设置了 two.d 参数的效果；

必须会的基础：

go atlas

set temp=1000  任意变量的使用需要$ 而且也可以操作赋值等等

设置之后怎么显示： tonyplot structure - set show.set

Save Set Files 可将当前的显示方式保存在相应的set文件中，set 文件需要放在工作路径中，以便于程序查找到。

怎么画图：tonyplot 

画图之前需要保存： structure outfile=***.str

有可能存在这样的问题：无法画图，目前我有的猜测是这样的，没有可以画的东西，或者没法读str文件。

第二章 二维工艺仿真

在这块我首先见到图形界面的命令，直接用PROCESS选项框就能自动生成代码，轻松准确，但是为了更好地掌握语法，还是要学习会自己写语句。

而且在写的过程中不要随便加空格，会影响句子的使用

2.2工艺流程

2.2.1 定义网格

一开始我不知道怎么显示网格生成的界面，后面发现是在mesh define里面有。

 

遇到问题：书里的示例程序不能被软件识别，明明都是in文件还是不能兼容，这个是因为软件版本高，可以把示例程序用记事本打开，去掉里面的符号，变成本版本能用的格式、这个故事告诉我们：txt软件简直强大，我本来以为除了软件没法打开这种in文件了。

 

还有tonyplot 的用法，图是可以操作的，比如例子里的注入前和注入后就不是弹出两个图，而是在一个图上进行操作。

这里发现自己的探索能力非常有待提高。不能只做搬运工，要勇于探索，勇于创新。

 

 

离子注入：

SVDP（SIMS-Verified Dual Pearson）

Binary Collision Approximation (BCA)

淀积：

deposit 语句中divisions表示外延层纵向网格点数

今天把工艺走了一遍，还有一些问题，比如无法读取文件，后来几个都没法建立STR文件 真是奇了怪了。

还有画图问题。

 

等解决了再来补充吧。