三星斥资34亿美元采购20台EUV光刻机 内存也要上新工艺

  作者:宪瑞

  荷兰 ASML 公司前不久发布的财报显示2019 年该公司出货了 26 台 EUV 光刻机,创造了历史记录。ASML 没有公布具体的客户名单,但是主要买家就是台积电与三星。现在韩国媒体爆料称,三星日前又下了一笔大订单,斥资 33.8 亿美元采购 20 台 EUV 光刻机,不仅会用于7/5nm 等逻辑工艺,还会用在 DRAM 内存芯片生产上。

  据报道,三星在 1 月 15 日与 ASML 公司签订了新一轮订单,将采购 20 台 EUV 光刻机,总计花了 33.8 亿美元,约合 234 亿元人民币。

  这次的 EUV 光刻机采购规模比去年 10 月份的 15 台、181 亿元的规模更大,显示出三星在 EUV 工艺上的雄心,毕竟三星从 7nm 开始就会直接上马 EUV 工艺,目前已经量产,高通、NVIDIA、IBM 等公司都会是三星 7nm EUV 工艺的客户。

  在 7nm 之后,三星还会推出 6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE 等工艺,依然少不了 EUV 光刻机的参与,其中 6nm 工艺号称今年 1 月份已经量产出货,不过三星没有提供详细的客户信息。

  这次采购的 20 台 EUV 光刻机不仅会用于逻辑工艺,还会用在 DRAM 内存芯片上,这有可能带来内存芯片生产的一场变革。

  在进入 10nm 级别之后,DRAM 内存也衍生出了 1X、1Y、1Z 至少三代工艺,大概等效于 16-19nm、14-16nm、12-14nm,美光还会有更细化的1α、1β等工艺,但是在越过 10nm 这个坎上,内存工艺上 EUV 光刻机也是迟早的事。

  从报道来看,三星最快在今年底就会在内存芯片生产上使用 EUV 光刻机,虽然不知道具体详情,但是年底的时候三大内存芯片厂商应该会开始量产新一代的 DDR5 内存,所以有可能在 DDR5 内存上首尝 EUV 的螃蟹味道。

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