三星斥资34亿美元采购20台EUV光刻机 内存也要上新工艺

　　作者：宪瑞

　　荷兰 ASML 公司前不久发布的财报显示2019 年该公司出货了 26 台 EUV 光刻机，创造了历史记录。ASML 没有公布具体的客户名单，但是主要买家就是台积电与三星。现在韩国媒体爆料称，三星日前又下了一笔大订单，斥资 33.8 亿美元采购 20 台 EUV 光刻机，不仅会用于7/5nm 等逻辑工艺，还会用在 DRAM 内存芯片生产上。

　　据报道，三星在 1 月 15 日与 ASML 公司签订了新一轮订单，将采购 20 台 EUV 光刻机，总计花了 33.8 亿美元，约合 234 亿元人民币。

　　这次的 EUV 光刻机采购规模比去年 10 月份的 15 台、181 亿元的规模更大，显示出三星在 EUV 工艺上的雄心，毕竟三星从 7nm 开始就会直接上马 EUV 工艺，目前已经量产，高通、NVIDIA、IBM 等公司都会是三星 7nm EUV 工艺的客户。

　　在 7nm 之后，三星还会推出 6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE 等工艺，依然少不了 EUV 光刻机的参与，其中 6nm 工艺号称今年 1 月份已经量产出货，不过三星没有提供详细的客户信息。

　　这次采购的 20 台 EUV 光刻机不仅会用于逻辑工艺，还会用在 DRAM 内存芯片上，这有可能带来内存芯片生产的一场变革。

　　在进入 10nm 级别之后，DRAM 内存也衍生出了 1X、1Y、1Z 至少三代工艺，大概等效于 16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光还会有更细化的1α、1β等工艺，但是在越过 10nm 这个坎上，内存工艺上 EUV 光刻机也是迟早的事。

　　从报道来看，三星最快在今年底就会在内存芯片生产上使用 EUV 光刻机，虽然不知道具体详情，但是年底的时候三大内存芯片厂商应该会开始量产新一代的 DDR5 内存，所以有可能在 DDR5 内存上首尝 EUV 的螃蟹味道。