SECS半导体通信委员会参考书

适用文件是SECS半导体通信委员会创建的参考书。这些文件的目的是提供协议的结构和描述协议的通用方法。

SECS分为两个主要层次:物理连接和逻辑连接。

E4半导体设备通信标准1消息传输(SECS一)E37高速SECS消息服务(HSMS)通用服务E5半导体设备通信标准2消息内容(SECS二)E30半导体设备通信和控制通用模型(GEM) E90衬底跟踪规范E32材料移动管理(MMM) G84条带映射协议规范E142衬底映射规范

物理连接可以使用或SECS-I或HSMS来解决。SECS-I使用RS232串行线路定义了物理链路、块传输协议和消息协议。HSMS使用一个TCP/IP网络协议来完成物理连接。

SECS-1在《半导体标准手册》(设备自动化软件1和2)E4-0699章节“半导体设备通信标准1 -信息传输(SECS-1)”(以下简称E4)中有所描述。HSMS旨在涵盖与SECS一号相同的功能，但它允许更高的通信性能，并且在E37-0303章节“高速SECS消息服务(HSMS)通用服务”(以下简称E37)的同一本半标准书中有所描述。

SECS-2定义了以消息的形式在设备和主机之间传递信息的方法。

它在半标准手册第E5-0703节“半设备通信标准2 -信息内容(SECS-二)”中有所描述(以下简称E5)。

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GEM标准是SECS-II的扩展，定义了哪些SECS-II消息应该被使用，在什么情况下，以及应该产生什么样的活动。事实上，SECS二号定义了几个标准功能和相关信息，但它没有规定设备的建模，这是SECS协议从行为角度所期望的。

GEM标准在E30-0302章节“通信通用模型和半设备控制(GEM)”中有所描述(以下简称E30)。

基材跟踪在半标准手册E90- 0703章节“基材跟踪规范”(以下简称E90)中有所描述。《半标准手册》(设备)中描述了MMM标准

自动化软件1和2)第E32-0997节“管理”(以下简称E32)。

物质运动

带状地图处理在半标准手册G84- 0303“带状地图协议规范”(以下简称G84)中有所描述。衬底/晶片映射处理在半导体标准手册E142-0305章节“衬底映射规范”(以下简称E142)中有所描述。

SECSIM和SECSIM-PRO(Asyst Technologies Inc .)是软件工具，能够模拟(尽管不是完全模拟)主机(以便开发与设备没有直接连接的接口)和设备(以便测试设备本身)。在“赛西姆用户手册”中有描述。

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2.介绍

本文件描述了所有意法半导体有限公司后端工厂购买的组装、测试和整理设备中实施的SECS通信协议的要求。它还规定了文件的结构以及为验证设备的SECS/GEM接口而进行的测试。并非所有列出的通信协议功能都适用于特定设备。然而，设备供应商在对本规范进行符合性审查时应该发现这一点。在一个单元由多个设备组成的情况下，单元中的任何设备都需要能够与主机集成。

2.1一般要求

安装在设备上的SECS通信协议软件以及任何其他相关软件必须符合Y2K标准。

2.2通信协议

所需的通信协议是半导体设备通信标准(以下简称SECS)，由半导体设备和材料国际通信委员会(以下简称半导体设备和材料国际委员会)定义。

2.3沟通模式

为了在自动化环境中有效地使用设备，SECS接口必须满足通用通信模型。意法半导体选择的型号是GEM。从物理角度来看，HSMS比SECS一号更受青睐，尤其是当沟通表现可能成为一个关键问题时(长食谱、包含图像的食谱、图像、长表格或地图)。例如，芯片焊接机、引线焊接机、激光打标机和测试设备需要与HSMS一起提供。

SECS-GEM接口必须允许不同级别的设备集成:它必须可用于全自动生产线，但也可用于传统生产环境。事实上，这两种方法都可以用于意法半导体设计自动化生产线和控制应用。

在全自动环境中，操作员的干预必须限于解决设备协助请求，而在传统生产线中，如果没有物料移动管理，操作员将负责装载设备并启动它们，因此SECS协议将仅用于将制造执行系统集成到物理设备，也就是说，一旦制造执行系统客户端执行了特定的事务，就对设备采取行动并从设备收集数据。

2.4物料移动管理

在自动化生产线上，产品通过专用的物料搬运系统(MHS)装载到设备上。这些系统基本上有两种类型:

排队。这些设备是相互机械集成的。没有外部系统将产品从一台设备运输到另一台设备。在大多数情况下，单个带从一个设备移动到另一个设备。

外部。设备是独立的，MHS是一个独立的系统，将产品从一个设备运输到另一个设备。大多数情况下，产品是通过运输工具运输的。当一条线路由几个串联系统组成，并使用独立的MHS连接在一起时，这也适用。

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3.

无论何时当外部

MHS用于转移产品

独立设备或串联系统之间。不同协议的使用，如SMEMA(SMEMA 1.2中描述的表面贴装设备制造商协会)，只允许在串联系统的边界内使用。

物理通信要求

3.1 SECS-1

SECS-I使用RS232串行线路定义了物理链路、块传输协议和消息协议。它必须严格遵循E4·SECS一号标准。SEMI标准中描述为可调的协议参数必须完全符合E4标准。设备发送的回复消息中的系统字节必须等于设备正在回复的主机主消息的系统字节。多块消息中所有块的系统字节必须相同。

要求设备能够处理并发未结交易。

设备的通信参数(SECS协议参数、设备常数等。)必须保存在非易失性存储器中，以防复位或电源故障。非易失性存储器的丢失必须产生警报或事件报告。在设备启动期间(启动或电源故障后)，必须重新激活之前设置的与SECS接口相关的参数。这包括设备常数和SECS通信参数。SECS接口文档中必须包括更改SECS-1参数的方法，SECS-1参数配置必须有密码保护。

每当一台设备由多个模块组成时，设备控制必须能够管理所有不同的模块。从SECS的角度来看，设备必须被视为只有一个SECS连接的单个单元。但是，如果设备与另一个设备(例如激光打标机)集成到处理器上，则该设备中的任何一个都应该能够独立地与主机集成。

3.2文件(SECS-一)

为使设备或主机符合SECS-1标准，需要一份包含以下信息的文件。(另见SEMI E6-0303，半导体设备安装文件指南)

1.

设置表1中所有参数的方法(如下)。表1中每个参数的允许范围和分辨率(如下)。与重复块检测的兼容性以及启用和禁用重复块检测的方法(如果存在)(参见E4-0699第7.4.2节)。

正常运行条件下产生的最大预期字符间延迟、协议延迟、回复延迟和块间延迟。

接收者是否支持多块消息。多块消息是否用作发送者。

2.

3.

4.

5.6.

7.收到的邮件大小是否有限制，如果有，限制是什么。8.正在发送的消息的最大预期大小。9.接收者是否支持消息交织。10.消息交织是否用作发送方。

11.端口上支持的设备标识号。12.支持的并发未结事务的最大数量。

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3.3 HSMS

HSMS使用一个TCP/IP网络协议来完成物理连接。它必须严格遵循E37 HSMS标准。设备必须能够支持定期的链接测试请求消息。尽管这不是必需的；设备可以启动周期性的链路测试请求消息。设备必须提供密码保护方式来配置HSMS参数。这些设置必须由设备保存在非易失性存储设备上，并且必须在每次断电或系统软件重新加载时重新加载。设备实体必须支持多个未结交易。

优选的是，设备使用被动连接模式建立TCP/IP连接。

文件必须包括:

设置协议参数的方法(包括如果IP地址是静态的或

动态的)。

每个参数允许的范围和单位。

如果实现使用被动连接模式，用于拒绝传入连接请求的选项。

可以接收的最大邮件大小。

可以发送的最大邮件大小。

HSMS实现可以处理的受支持的并发开放事务的最大数量(大于1)。

在被动连接模式下，即使设备是一组带有独立控制系统软件的独立模块，也允许在任何时候在一个发布的端口上有多个连接请求。必须严格遵守E37 (9.4.1)中定义的回复匹配标准。

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3.4 HSMS回复匹配标准

当发送者发送一个W位为1的主消息(预期回复)时，发送者应该期待一个报头满足以下要求的回复消息。

回复的会话标识必须与主消息的会话标识匹配。

回复流必须与主消息流匹配。

回复的功能必须大于主消息的功能，否则回复的功能必须为0(功能零回复)。

回复的系统字节必须与主消息的系统字节匹配。

4.

半设备通信标准2消息内容

(SECS二号)。

半设备通信标准第2部分(SECS-2)定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。

SECS二号协议旨在与SEMI设备通信标准E4 SECS一号完全兼容。它还旨在允许与符合E5-0703第3节所含协议要求的替代消息传输协议兼容。

SECS二号协议为设备和主机之间使用消息传输协议(如SECS一号协议)交换的消息提供了形式和意义

SECS-2定义了以消息的形式在设备和主机之间传递信息的方法。这些消息被组织成活动的类别，称为函数。

SECS-II将消息的结构定义为称为项目和项目列表的实体。这种结构允许自描述数据格式，以保证对

信息。

消息的交换由一组处理消息的规则控制，称为事务协议。交易协议对任何SECS协议二的实现都有一些最低要求(见E5-0703第5.3节)。

意法半导体要求设备和主机之间的所有信息交换符合SEMI标准E5-0703。

对于任何无法处理的接收消息，设备必须在流9上发送适当的错误消息。

在检测到事务超时时，设备应该向主机发送S9F9。

在接收到作为对主要消息的回复的功能0时，设备必须成功终止相关事务，而没有任何错误发送到主机。

当基于SECS-1时，SECS-2必须支持多块消息的块交织

图层。

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5.

创业板要求

创业板作为SECS二号的标准实施。

意法半导体需要

设备必须是一个。这意味着:

宝石兼容机

符合E30标准中规定的条款。

创业板的基本要求得到满足。

每个功能的实现都符合E30中为该功能定义的所有适用定义、描述和要求。

关于创业板的一些功能，我们想强调以下几点。

1.车载设备的自动化水平必须允许使用SECS命令运行设备，而无需操作员干预。然而，当设备处于生产模式时，操作员仍应能够在紧急情况下进行干预，并对设备进行与工艺相关的小调整，停止设备并清除警报。

2.在自动模式下运行时，无论控制状态如何，生产参数和机器配置的任何变化都必须生成专用的事件报告，以便识别变化的参数和相应的新值。

3.主机系统不会通过SECS更换设备功能，也就是说，它不会实现离线或本地设备操作期间由设备控制软件本身执行的功能。SECS对话将向设备控制器软件发送请求，以执行宏操作，如“准备大量处理”。微动作，如打开继电器或步进升降机，不是通过SECS接口执行，而是由设备控制软件在收到宏动作后执行。此外，预计主机系统不会使用SECS接口承担任何类型的设备诊断或维护功能。

4.在远程控制状态下生产期间，主机接口和操作员接口必须具有相同的功能:主机必须能够访问操作员可以访问的相同功能

在无错误操作期间从设备终端进行访问，反之亦然。此外，在远程控制时，操作员发出的任何命令都必须触发

相关事件报告。

5.该设备可以提供创业板标准中没有规定的附加功能，只要它不与创业板的能力相冲突。

关于术语基本要求和能力的定义，请参见E30。表2总结了GEM的基本要求和设备类型所需的附加能力。根据生产需要，设备可能不具备以下规定的全部能力。

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表2创业板的基本要求和附加能力

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重要:

如果执行E142，则不需要芯片拾取事件。这

信息将在传输图中提供。

重要提示:启动按钮的启用/禁用概念是拥有启动按钮

一旦批次完成“追踪”或“取消追踪”并启用“开始”，则禁用该选项

仅当批次跟踪成功时才按下按钮。

设备集成控制器通过SECS二号消息S2F15启用设备上的启动按钮，带有以下数据项:

8

8

ECID =

ECV =

5.1意法半导体特定的创业板要求

本节解释了对创业板和创业板标准中未明确提及的SECS-II规范的一些概述、限制和进一步要求。

供应商可以为定制任务定义新的流和功能，只要他尊重标准结构和允许的流和功能代码，如果是这样的话，所有定制的流和功能必须完全和清楚地记录在设备SECS-GEM手册中。然而，强烈希望供应商使用基本的标准流程

和E5中预先定义的功能。

5.1.1过程程序管理

设备上的所有工艺程序

所有关联的表或数据

“工艺程序管理”功能必须支持(下载/上传)在机器处于生产状态时使用。此外，同一型号的设备必须能够共享生产中所需的工艺程序和所有相关表格。(见E30-0703第4.6.4节)

当设备处于远程控制状态时，如果设备切换到本地控制状态，主机下载的配方必须适合执行，并且必须显示在设备显示屏上，即配方必须在本地存储和执行

非易失性存储。

5.1.2事件报告通知

“罐装”

没有硬编码或

允许报告。需要动态报告配置。

需要以下收集活动(CEID):

产品流程开始。

产品流程停止。

将配方保存在设备硬盘上。

通过机器控制台更改配置参数(ECID)。

过程步骤开始和完成(当过程程序由更多过程步骤组成时)。

带材的加工完成。

条带的过程开始。

输入载体中产品的加工完成(适用于任何类型的载体或盒子或试管或托盘)。

载体(或盒子或试管或托盘)装载在输入过程位置。

输出过程位置的空载体(或盒子或试管或托盘)装载。

载具(或盒子或试管或托盘)从输出处理位置卸载。

操作员命令已执行。

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配置丢失。

输入缓冲液变空(对于任何类型的载体、盒子、试管或托盘，无论是满的还是空的)。

输出缓冲液变满(对于任何类型的载体、盒、试管或托盘，无论是满的还是空的)。

对于任何类型的材料，工艺所需的材料已经用尽。

每个活动都有独特的CEIDs。

CEID维修和停机状态

CEID为生产州

CEID进程状态改变

离线设备CEID

设备供应商必须提供设备上定义的所有收集事件的文件，以及每个事件发生的条件(见E30-0703第4.2.1.1.4节)

5.1.3可变数据收集

要求任何与过程监控和控制相关的输入和输出参数都可以作为SECS通信变量标识。

根据工艺类型，需要以下视频文件:

PPID最后的食谱保存在设备硬盘上。

PPID的食谱目前正在进行中。

设备控制台更改的最后一个配置参数的ECID。

机器模块中正在处理的条带的条带标识(对于每个模块)。

输入过程位置中的载体或盒子或试管或托盘的标识。

输出过程位置中的载体或盒子或试管或托盘的标识。

操作员执行的最后一个命令。

最后一个完成的条中的器件废料(未完成)计数。

当前正在处理的条带中的设备废料(未完成)计数。

设备或位置在最后一个完成的条中跳过计数。

当前正在处理的条中跳过的设备或位置计数。

最后一个条中的设备已处理计数已完成。

当前正在处理的条中的设备已处理计数。

最后一个完成的载体中的设备废料(未完成)计数。

当前正在处理的载体中的设备废料(未完成)计数。

设备或位置在最后一个载体完成时跳过计数。

当前正在处理的载体中跳过的设备或位置计数。

最后一个载波中的设备处理计数已完成。

当前正在处理的载体中的设备已处理计数。

最后一个载体中的带加工计数已完成。

当前正在处理的载体中的带处理计数。

好设备的总数。

总生产正常运行时间。

总待机时间。

总停机时间。

启动按钮状态为启用或禁用。

如果要求设备处理条带/基底映射，必须提供SEMI标准E90、G84或E142中规定的所有数据变量。

5.1.4建立沟通

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当处于GEM通信状态时，设备可以轮询主机以确定线路是否仍然是活动的。SECS接口必须包含禁用轮询和调整轮询间隔的方法。

设备必须提供Gem文件E30中描述的建立通信超时设备常数。

5.1.5遥控

决不能要求手动干预来启动任何给定的主机动作。因此，无论操作员界面的状态如何，任何远程命令或任何其他主机消息都必须被设备接受。

作为E30第4.4.4章的扩展，实现了以下远程命令(请参考SEMI标准文件E30以获得详细的支持信息)

必须

是

1)

2)

3)

4)

5)

6)

7)

描述:

8)

工艺程序选择

描述:工艺程序从磁盘中检索并加载到工作存储器中。

停止

描述:在产品的安全周期结束时停止设备，即在产品没有损坏或报废的周期结束时。(根据产品周期，在当前设备、块或条之后停止)。

停止并清除

描述:停止从输入载具卸载产品，在设备上完成整个产品的过程，将该产品装载到输出载具中，并

停下来。

停止和卸载描述:例如

“停止并清除”并卸载输入和输出载具。

下一站

描述:在输入载体中完成产品装载到输出载体的过程并停止。

运行一个承运人

描述:启动并完成产品进入输入载体的过程，将其装入输出载体并停止。输入和输出过程位置中载体的识别不能是该命令的结果。

立即停止

设备立即停止。

启动按钮启用/禁用

描述:此功能是必需的，以便EIC能够阻止用户在没有完成必要验证的情况下启动设备。

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5.1.6控制状态模型

当“本地控制”状态激活时，操作员可用的所有功能应在“远程控制”状态激活时对主机可用。对于每个操作员命令，设备将生成一个特定的收集事件标识，允许单元控制器跟踪操作员的操作。这是最低要求，但建议使用设备配置参数配置“远程控制”中的操作员能力水平。详情请参考E30第3.3章。这些配置参数也必须作为SECS常数(ECID)可用。

5.1.7过程状态模型

要求设备供应商使用GEM加工状态模型作为参考，并根据设备的具体特性采用该模型。

5.1.8警报管理

无论通信状态如何，设备必须始终为操作员提供清除未决警报的能力。作为E30第4.3.4章的扩展，必须实现以下功能:

列出当前设置的警报。

关于条带映射的警报。

关于晶圆映射的警报。

关于配方管理的警报。

过程规格警报。

设备相关警报。

设备制造商必须为设备定义一套与操作人员、设备或被加工材料的物理安全限制相关的警报。

设备必须保持所有启用/禁用状态，并在非易失性存储器中报告警报和收集事件的定义。

设备上定义的每个报警必须有其含义的简要说明、相关的唯一报警标识符(ALID)、报警文本(ALTX)、报警状态(ALCD)和两个唯一的收集事件标识符(CEIDs)，一个用于设置，一个用于清除。

启用的报警报告必须在相应的启用事件报告之前发送。

对于每个启用警报，S5F1消息必须在设备上发生警报后的2秒内发送。

即使控制状态为本地，设备也必须继续发送报警信息(S5F1)。

警报的所有报告状态和启用/禁用状态必须存储在非易失性存储器中。

所有警报必须符合警报管理GEM标准E30第4.3节

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5.1.9产品管理

设备必须始终保持载体的完整性:不得将来自一个载体的条带装载到包含来自另一个载体的条带的载体中。这是一项强制性能力，不得影响设备容量和吞吐量。

产品可以装载在载体、条带、试管或托盘中。假设这些集装箱是用条形码、矩阵码或其他识别系统编码的。要阅读的代码将在本规范提供的单独文件中定义。它可以是CarrierID，也可以是StripID，也可以是TubeID和TrayID。

设备必须能够使用条形码阅读器或其他批次识别系统在特定设备位置识别产品。设备必须能够

识别输入和输出过程位置中的载体。

设备控制软件必须包含一个机器位置的定义，在该定义中，材料可以存储在机器上。当设备接收载体中的产品时，位置应定义载体的存放位置。如果设备以单条的形式接收产品，则位置应确定存储单条的位置。类似的要求适用于试管和托盘。

设备SECS接口应该能够使用S3、F1 / S3、F2消息报告船上所有材料(产品)的状态。此外，当设备上发现意外材料或预期材料丢失时，设备应能够检测和报告。用于此目的的消息有:S3、F5 / S3、F6 / S3、F7 / S3、F8。

5.1.10数据收集

对于测量设备，无论测量方法如何，主机必须能够改变采样顺序(条带和芯片坐标)。在重新测量的情况下，主机可以重新指定采样顺序，而无需发送新的配方。对于不同的载波插槽/设备，必须有不同的配方可供选择。此外，设备必须持续测量何时发现料带所在的槽为空。在后一种情况下，设备必须启动特定的收集事件标识。

5.1.11假脱机

假脱机是一种功能，通过这种功能，设备可以在通信故障期间将发送给主机的消息排队，并在通信恢复时发送这些消息。假脱机仅限于用户选择的流的主要消息。设备上的缠绕必须符合GEM (E30)标准第4.11.4节的要求。

设备必须提供假脱机功能，它还必须为主机提供通过S2 F43/F44事务启用和禁用任何消息假脱机的能力(流1消息除外，即S1、F1、S1、F13)。可以为整个流、流中的单个消息或两者的任意组合启用假脱机。此消息中未引用的流和函数不会被假脱机。通过为第一项发送一个零长度列表的S2 F43，可以完全禁用假脱机。

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5.1.12 Bin代码翻译配置

下表演示了SDTS配置中bin代码转换表的概念。每个设备型号都配置有SDTS逻辑箱代码(唯一)和设备箱代码定义之间的映射。通过进行这种映射并在带状地图下载/上传过程中应用规则，我们能够区分并准确地容纳绑定、缺陷等的设备。

SDTS模型箱描述质量

M1 01 0未知/未检测通行证

M1 02 1保税通行证

M1 03 2环氧树脂分发通行证

M1 04 3好的无粘结定位通行证

M1 05 4故障定位失败

M1 06 5其他缺陷位置失败

M1 07 6跳过位置失败

M2 02 11好的无粘结定位通行证

M2 08 12线焊道

M2 09 13第一债券不粘通行证

M2 10 14其他缺陷定位失败

M2 11 15跳过位置失败

表3: Bin代码翻译

为了演示该翻译在带状地图和上传过程中的使用，我们将使用上述两种设备型号作为示例:

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上图显示了如何在设备模型(M1)中加工带材。现在，如果我们在下一个工艺步骤中使用不同的设备型号(M2)来进一步扩展这一条

6.例外

处理

6.1不可读的2D代码

在某些情况下，试纸上标记的2D代码可能不良或有划痕，从而影响试纸识别的可读性。在这种情况下，应提示错误以提醒操作员。然后，操作员将被提示3个选项来恢复该错误:

重试

设备将向读取器触发另一个READ命令

手动钥匙插入条上将没有人可读的代码标记，因此操作员必须使用手持2D阅读器在设备控制台读取完整的条标识和手动钥匙插入。

不使用带状地图继续

这将丢失该特定条带的可追溯性数据。

移除条带将被解除夹紧，操作员移除条带。随后的剥离

将在此后处理。

有两个可能出现错误提示的目的地:

连接到设备的终端(微型终端)

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6.2设备控制台

通常，在设备控制台中提示恢复操作是可能的。设备控制台必须能够处理字母数字字符，并且不仅限于数字数据输入。如果设备控制台不支持字母数字数据输入，设备供应商必须为用户提供一个软件键盘来输入字母数字数据，如配方名称。

4.4.1.1部分标准参考文件1.00.02版

-设备控制台中的2D代码读取恢复操作-

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6.3输入索引器错误

当设备试图将带材移动/转位到止动位置(安装2D阅读器的位置)或工件夹具时，会出现此错误。

标准参考文件DLD标准文件版本1.00.02第4.4.2节

-输入索引器错误工作流-

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6.4输出步进器错误

当设备试图将带材或引线框从工件夹具/腔室运输到输出站(料盒)时，会出现此错误。

标准参考文件DLD标准文件版本1.00.02第4.4.3节

-输出索引器错误工作流-

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6.5带材定向误差

当试纸在错误的位置被转位到激光标记室时，会出现此错误

方向

标准参考文件DLD标准文件版本1.00.02第4.4.4节

-条带方向错误工作流-

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6.6器件焊接/加工过程中的错误

每当设备在处理器件时，并且在焊接或焊接后检查过程中检测到错误时，就会出现此错误。将发出警报通知操作员注意。

标准参考文件DLD标准文件版本1.00.02第4.4.5节

-焊接/处理工作流程期间出错-

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6.7意外关机或挂起

此错误可能偶尔发生在某些设备上，并可能导致信息丢失。无论何时发生这种情况，设备都应该使用所提供的ALPS客户端实用程序来手动标记那些已经处理过的设备。

标准参考文件DLD标准文件版本1.00.02第4.4.6节

-意外关闭/挂起工作流-

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7.文件

结构

设备的SECS接口文件必须在单独的手册中。

该手册必须提供五个主要部分和第六部分，其中包括关于界面推荐使用的应用笔记。如果MMM协议为，则总零件数为5

未提供。

7.1第一部分/一般信息

本节描述设备SECS接口的一般功能以及如何启用它。此处描述了关于接口和其他适用文档的一般信息。本节将包括的主题有:

软件修订

接口的预期功能。

对以前版本的更改。

用户参考和设备的其他手册。

改变任何SECS -HSMS参数的方法(例如T1、T2、T3、SECS等)。)。设备上SECS港的位置。

电气连接示意图(RS232或以太网)。

物理连接的特征(SECS-1或HSMS)。

SECS -创业板协议的特点，包括创业板合规声明(见下文)。

MMM协议的特征(如果存在)。

GEM配置

供应商必须编制表3中的创业板合规声明。

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创业板合规声明

表4创业板合规声明

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(*)不要将“是”标记为“是”，除非所有基本的GEM要求均已实施且符合GEM

(*)附加功能可能不会被标记为符合GEM，除非符合基本的GEM要求。

7.2第二部分/消息摘要

本节包含设备理解和发送的流和功能的列表。

7.3第三部分/状态模型

本节包含所有不同的状态图，以及每个状态的描述和状态转换表，包括MMM协议出现时的传输状态图。这些图必须用哈里法表示。对于任何GEM功能，必须包括涉及CEID、VID、RPID、ECID和ALID的功能的详细描述。对所涉及的CEID、维也纳国际发展研究所、法国国际发展研究所、ECID和ALID的完整描述也将包含在附录中。

7.4第四部分/消息详细信息

本节包含设备理解和发送的每个流和功能的详细信息。描述必须严格遵循E5文件第8.1节中提供的格式。

7.5第五部分/MMM协议

本节要求描述所提供的特定设备上的MMM协议特性。必须包括描述微观服务和宏观服务的所有SECS方案。所有的失败和恢复

将包括SECS情景。

7.6第六部分/应用笔记

本节将包含关于如何在自动化环境中使用SECS接口的详细信息，以及供应商推荐的SECS方案，以执行接口支持的每项功能(例如主机启动的工艺程序下载-

格式化)。此外，本节应包含在主机连接中断或暂时禁用的情况下使用设备的方法。必须描述主机连接时操作员与设备交互的任何变化。

这一部分将为界面中实现的每个功能分成单独的部分。每个部分将包含一个SECS交易列表(一个主要消息及其相关的次要消息)。这些列表中的每一个都将组成一个相关消息的SECS场景序列来执行一项功能)。此外，它将包含变量值、消息方向的描述，以及对每个流的功能及其对设备的影响(或副作用)的评论。

7.7附录

赛西姆是一个来自阿斯斯特科技公司的工具，它能够模拟(有一些限制)主机和设备的功能。要模拟的对象的规格通过SECS消息语言(SML)给出。为了开发设备接口和测试SECS协议，需要两个包含SML主机和设备仿真消息的ASCII文件，作为文档的一部分。

当第三部分未包含所有CEID、维迪、RPID和ECID的列表和解释时，需要一个附录，包括每条消息中所有变量的详细列表，以及使用这些变量的流和函数的参考。根据供应商的判断，任何其他项目都可以添加到文件中。

(a)

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描述ALID、ALCD、ALTX的所有警报列表也将作为

附录。

最后，要求设备供应商提供与设备相关的所有流和功能的SML文件，包括从主机端的角度，以及模拟所有设备SECS-GEM响应的SML文件(设备SECS-GEM模拟器)。

7.8文件更新

SECS界面的每个新版本都必须包括文档更新。更新必须清楚地列出设备SECS界面的任何变化，以及这些变化可能对机器操作产生的任何影响。

8.

SECS接口验收测试

SECS接口验收测试将在接收设备的意法半导体工厂进行，或者在设备装运前计划进行验收时在供应商处进行。当要运输的设备是生产中需要快速安装的关键设备时，将使用后一种选择。将对SECS执行情况进行核查，并将仔细检查其文件。验收与文件和SECS接口实施相关:

8.1文件

将检查文件手册，并与本规范“文件结构”一节中所示的结构进行比较。

8.2接口测试/第一阶段-主机模拟

将测试为接口实现的所有流和函数，以及由所提供的文档指示的结构和值。这意味着设备可以接收的所有可能的消息都将被模拟。所有消息及其格式必须符合

1) SEMI标准，2)意法半导体要求，以及3)供应商提供的文件。这些测试将使用赛西姆、赛西姆-普罗模拟器或市场上任何其他等效软件来完成。任何SECS消息、时间或其他问题都将在赛西姆或赛西姆-普罗模拟器日志中进行追踪。测试计划将在开始测试前传达给设备供应商。

8.3接口测试/第二阶段-主机连接

无论何时预测立即集成到制造执行系统，都将执行该测试。一旦验证了每个流的格式，设备将连接到主机系统。在设备连接到主机系统并使用SECS监视器的情况下，适当的流和功能将被发送到生产环境中的设备(同样如所提供的文档所示)。执行此测试时，将处理一个测试批次。当设备在生产模式下运行时，将进行最终测试，以查明SECS接口可能存在的任何传输问题。任何SECS误差、定时误差或其他问题都将在SECS监控日志中进行跟踪。

如果设备SECS协议测试失败，验收程序将被视为未完成。因此，设备将不被接受，保修期限将被推迟。将要求行动计划符合意法半导体的要求。

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8.4赛西姆专业主机/设备模拟器

。

设备供应商必须提供设备仿真器(SML文件)，按照设备SECS-GEM手册模拟设备的所有特性和功能(SECS-GEM)。这可用于设备集成控制器(EIC)测试目的。

设备供应商必须提供主机仿真器(SML文件)，包括设备SECS-GEM手册中记录的所有流和功能。这可用于对相关设备进行设备表征。

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