一篇简单介绍石英挠性加速度计的文章

一篇简单介绍石英挠性加速度计的文章
石英加速度传感器是用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度传感器，且其结构与工艺与之野夫式的结果大大的简化了。目前这种石英挠性加速度传感器已广泛应用于各类现代惯性体系中。

石英挠性加速度传感的工作原理其是由轭铁由温度系数低导磁性能好的软磁材料组成。磁钢采用导磁性能比较良好的永磁材料，用磨床加工。挠性片的材料为温度性能极好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性片，但造价很高。
加速度引起的差动电容变化量由伺服电路中差动电容检测器检测，为其输出为电流，经电流积分器变成输出电压，然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流，此输出电流的大小与输入加速度成正比。英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，最后输出电流信号正比于加速度信号。

产品广泛用于航空航天高精度导航系统、惯性导航、航海定位、飞行姿态控制或地质勘探捷联系统。
石英挠性加速度传感器的性能指标
测量精度高
重复性佳
可靠性高体积小
重量轻宽压供电
功耗低
模拟电信号输出技术指标技术性能量程±60g阈值(分辨率)1×10-5g偏值（K0）＜4mg偏值（K0）温漂＜40μg/℃偏值（K0）年稳定性1mg标度因数（K1）1.2～1.46mA/g 。
此石英挠性加速度计的使用场景导弹、飞机、舰艇、战车、水下导弹等制导系统必须要有速度和位置信息，在要求低的场合人们使用空速度计、马赫数传感器、里程计等。