半导体作为全球最重要的一个产业,每年为经济贡献几千亿的产值。生产半导体需要很多设备,包括蚀刻机、封装设备、沉积设备、测量设备等,当然最重要的设备就是光刻机了,因为它太难造了。目前全球能制造半导体设备的企业并不多,以欧美日为主,中国也能制造一些中低端的设备,但性能和国外领先水平还有差距,一起来看看全球的那些顶尖半导体设备厂商,它们有哪些牛掰的产品。
一、ASML
荷兰ASML公司,是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。
ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。ASML旗下机台设备不断推陈出新,在1984和1989年分别推出PAS 2000和PAS 5000机台;1990年推出PAS 5000 Stepper/Scanner;2000年推出Twinscan曝光机系统;2010年进入EUV系统机台。
除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC, IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。
提到ASML最牛的产品还是光刻机,目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。2018年ASML发布了第二季度财报,公司销售额同比增长了三成,超过三十亿美金,EUV光刻机为它带了了巨大利润,因为只有ASML能做出来。
二、应用材料公司
应用材料公司是一家半导体和显示制造设备商,应用材料公司成立于1967年,2017财年,应用材料公司营业额达到145亿美元,在17个国家设有90个分支机构,全球员员工人数18400人。拥有超过11,900专利。1984年,应用材料公司在北京设立了中国客服中心,成为第一家进入中国的国际芯片制造设备公司。通过长期参与中国的高科技制造业,应用材料公司为半导体、先进显示以及太阳能光伏制造行业提供设备与服务。
应用材料公司的脚步也随着中国半导体工业和集成电路产业的发展向前迈进。应用材料公司于1997年正式在中国注册独资公司。中国公司总部也已落户上海浦东张江高科技园区,在北京、天津、苏州和无锡设有办事处和零配件仓库,并把上海作为全球技术培训中心之一。随着中国经济的迅猛发展和稳定增长,应用材料公司对中国半导体工业和集成电路产业的发展和市场远景满怀希望和信心并做出长期的承诺。
应用材料公司不仅在设备、技术和服务上以全球统一的质量体系来高质量、高水平地服务我们在中国的客户,例如在上海的上海华虹NEC半导体制造有限公司、上海先进半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、宏力半导体制造有限公司;应用材料公司还积极推动中国半导体工业和集成电路产业的发展。应用材料公司于1994年起与上海市科学技术委员会共同设立“上海-应用材料研究与发展基金”。至今,应用材料公司已经投入了200多万美元的专款用来支持大学和研究机构进行微电子和信息技术的基础研究和应用开发。
2018年8月17日,应用材料公司公布了其截止于2018年7月29日的2018财年第三季度财务报告。与2017财年第三季度相比,应用材料公司的净销售额攀升19%至44.7亿美元。基于GAAP,公司毛利率提高至45.4%,营业收入增长23%至12.6亿美元,占净销售额的28.1%。GAAP每股盈余(EPS)增长38%至1.17美元。
三、科林研发
科林研发是面向全球半导体行业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商。科林研发30多年来始终致力于推进半导体制造。科林研发是等离子刻蚀和单晶圆清洗技术与市场份额的领先厂商,科林研发凭借全面的专业技术解决目前最尖端的半导体工艺难题。科林研发总部在加利福尼亚州弗里蒙特,并有一个遍及北美、亚洲和欧洲的全球服务网络,满足全球客户群多种多样和不断变化的需求。
科林研发主要设计、制造、销售、维修及服务使用于积体电路制造的半导体处理设备,此外,还提供单晶圆清洁技术的多样组合,旗下子公司Customer Support Business Group提供可强化设备效能及效率的产品与服务。公司提供服务的范围包括客户服务、备用零件的供应、产品升级、产品蚀刻、沉积、去除光阻及清洁等服务,并还制造、销售一系列的研磨、叠置及精密抛光等设备。2017年科林研发董事会首度在美国以外的地区召开,并且选择在中国台湾举行。科林研发执行长Martin Anstice表示,对科林来说台湾是很重要的市场,到台湾举行董事会可以让董事更了解市场及贴近客户,同时科林也会扩大在台湾的零组件采购,明年会在台湾生产新机台设备。
2018年7月26日,科林研发公司公布2018会计年度第4季(截至2018年6月24日为止)财报,营收季增8%至31.25928亿美元;非依照一般公认会计原则(Non-GAAP)每股稀释盈余季增11%至5.31美元。作为半导体制造设备和服务给全球半导体行业的领先供应商,科林研发开发创新的解决方案,帮助客户构建更小、 更快、 功能更强大、 更节能的电子设备。
四、东京威力科创
东京威力科创创立于1951年4月,总部位于日本东京,全职雇员11,355人(2014年),是日本的半导体成产厂商,日本最大半导体成膜、蚀刻设备公司。东京威力科创主要产品为半导体成膜设备、半导体蚀刻设备和用来制造平板显示器液晶的设备。同类产品比重在日本占第一位,在世界上占第二位。
东京威力科创目前市值约为238.38亿美元。未来将是所谓的物联网(IoT)和大数据推动半导体领域的需求,半导体产业的增长周期将与以往大不相同。2013年9月24日,美国半导体设备和服务供应商应用材料(Applied Materials)计划透过换股方式作价90亿美元收购东京威力,合并后的新公司市值约290亿美元,应材将持新公司68%股权、东京威力持其余32%股权。但因合并案未获得未获得美国司法部认可,已于2015年4月终止。
据悉,2017年4月至2018年3月财报显示,因数据中心用存储器需求大增,提振芯片制造设备销售强劲,加上平面显示器(FPD)制造设备销售也大增,激励合并营收年增41.4%至11,307.28亿日元,合并营益暴增80.6%至历史新高的2,811.72亿日元,合并纯益也暴增77.4%至历史新高的2,043.71亿日元。
五、迪恩士
迪恩仕总部位于日本。从印前、印刷及相关设备到电子产业,迪恩士已在各个领域扩大了其业务范围。 在“发展思路”的公司的原则指导下,以核心图像处理技术为杠杆,不断努力开创着新的业务和产品。半导体和液晶产业市场情况的变化(周期)往往是高度活跃的,这也造成了迪恩仕公司的经营成果的上下波动。为了使3年中期经营目标更容易实现,在2006年3月,迪恩仕推出了“展望2008年( 2006年度至2008年) ”综合计划, 一个3年期的建立在“迈向新的发展阶段”主旨基础上的经营计划。这项计划的目标为持续的发展,这将使迪恩仕成为投资者眼中有吸引力的企业集团,同时也表达了迪恩仕对社会的承诺。
廸恩仕科技提供各领域之半导体晶圆设备,包含洗净、蚀刻、显影/涂布等制程用途,其中洗净设备于半导体业界具有极高之市占率,同时随着半导体制程技术进步不断推陈出新设备产品。迪恩仕现在正在发展和生产印刷领域及世界领先的高科技领域的印刷技术数字化设备,如电子领域的半导体制造设备,FPDs (平板显示器)和印刷电路板。
廸恩仕科技中国地区总公司在上海外高桥保税区投资注册的迪恩士电子科技(上海)有限公司,是以生产销售半导体设备(如硅片清洗机)为主的企业,在世界各地都设有分公司和代表处,目前已经拥有全世界领先水平的技术和设备,用户及相关服务体系已经延伸到世界各地。公司提供从机台、零件的贩卖到完善的机台维修,始终籍由高品质的设备和杰出的服务让客户达到最大的满意。并御用多年的精密影像处理技术经验来发展,以提供半导体工业高效能的设备。提供高精密的影像设备,一系列的精密洗净设备,以及膜厚测量设备在半导体业界获得了很高的评价。此外,为了顺应顾客的需求,廸恩仕科技成立了实验和研发中心,以不断地开发崭新的设备领航于业界。
六、日立全球先端科技
日立高新技术公司是日立集团旗下的一家仪器设备子公司。全球雇员超过10000人,在世界上26个国家及地区共有百余处经营网点。企业发展目标是"成为独步全球的高新技术和解决方案提供商",产品与服务涵盖领域广泛,包括半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料。其中,生命科学领域产品包括:电子显微镜、原子力显微镜和分析仪器(色谱、光谱、热分析)等。日立高新技术集团在拥有全面解决方案基础上,将进一步提高客户满意度,为广大用户提供更优质、更及时的服务,成为行业先端的领导者。
日立全球先端科技的主要产品包括半导体设备、电子显微镜、液晶面板相关设备,FPD设备包括包括Array、Cell、Module、彩色滤光片之制程设备,包含玻璃基板表面检查设备、曝光机、湿制程设备。.等及医疗分析设备。
日立将日立集团在百余年发展历程中始终遵循的“企业理念”、“日立创业的精神”,以及为明确日立未来理想形态而重新制定的“日立集团愿景”,定义为日立的 “Mission(使命)”、 “Values(价值)”、 “Vision(愿景)”。由此三者共同构成的,就是“日立集团核心价值观”体系。日立将举集团之力,以“日立集团核心价值观”为基石,不断为社会发展贡献力量。
七、尼康
提到尼康,人们第一印象是相机,的确,它是是日本的一家著名相机制造商,成立于1917年,当时名为日本光学工业株式会社。1988年该公司依托其照相机品牌,更名为尼康株式会社。尼康其实也是分步重复半导体生产设备(分档器)的制造商。公司还生产护目镜,眼科检查设备,双筒望远镜,显微镜,勘测器材。
尼康作为世界上仅有的三家能够制造商用光刻机的公司,似乎在这个领域不被许多普通人知道,许多人只知道尼康的相机做的好,却不知道尼康光刻机同样享誉全球。光刻机作为整个集成电路制造最关键的设备,其设备的性能直接影响到整个微电子产业的发展。全球范围内最先进的沉浸式光刻机也只有ASML、尼康和佳能三家能够生产,单台价格高达几千万美元。尼康的G-line、I-line步进式光刻机(stepper)、投影式光刻机在全球晶圆厂大量使用。
所有人都知道英特尔在全球半导体制造业中较为先进,但新型半导体工艺的实现并不是Intel一家就能做到的,背后默默贡献半导体设备的功臣却往往不为人所知,Intel决定22nm光刻工艺设备的供应商,最终入围的是荷兰ASML Holding NV和日本尼康两家。其实在更早的45nm世代,ASML和尼康也曾双双成为Intel的光刻设备供应商,但在32nm节点上Intel首次应用了沉浸式光刻技术,只有尼康一家提供相关设备。
八、佳能
佳能是日本的一家全球领先的生产影像与信息产品的综合集团,从1937年成立以来,经过多年不懈的努力,佳能已将自己的业务全球化并扩展到各个领域。佳能的产品系列共分布于三大领域:个人产品、办公设备和工业设备,主要产品包括照相机及镜头、数码相机、打印机、复印机、传真机、扫描仪、广播设备、医疗器材及半导体生产设备等。
佳能半导体设备股份有限公司引进Canon所制造的半导体‧液晶用制造装置,提供台湾客户生产高科技产品,秉持完善且全方位的服务,并以提升客户产能并达成客户目标为主要使命。台湾的半导体液晶产业的成功经验受到全世界瞩目。公司自成立接近二十年,对于能够对此二产业提供直接的协助深感骄傲。今后也将与客户秉持着良好的伙伴关系共同成长,持续不断地对台湾产业提供最大的贡献。
多年来,佳能一直在为半导体前道工艺提供光刻设备。作为一家关键光刻设备供应商,佳能引领功率器件和CMOS图像传感器的翻新设备市场。为了夺取超越摩尔设备这块额外的市场份额,佳能公司提出了新的战略,提供比其前道光刻设备价格更低的全新超越摩尔设备,旨在改进其产品组合。
九、北方华创
北方华创是由北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称“北方微电子”)战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的领先企业。北方华创秉承七星电子和北方微电子多年高科技研发实力,实现资源整合和优势互补,以科技创新为基点,着眼未来,致力于加快推进北方华创向新型制造业的战略转型;致力于成为国际领先的高端电子工艺装备和精密电子元器件两大基础电子产品服务商;致力于提升人类智能生活品质;致力于实现中国“智造强国”的梦想蓝图。
2018年10月27日,据北方华创最新公布的三季报显示,前三季度营业收入21.0亿元,同比增长35.59%;归属于上市公司股东的净利润1.69亿元,同比增长110.12%。基本每股收益0.3682元,真空设备和新能源锂电设备增长迅速,这是由于国内的新能源汽车销量的增长所致。
北方华创拥有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个事业群,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业营销服务体系覆盖欧、制造基地,美、亚等全球主要国家和地区。北方华创的产品包括生产集成电路设备、光伏设备、TFT设备、真空设备、锂离子电池设备等。
十、上海微电子装备
目前全球能生产高端光刻机的企业不多,以美日为主,中国近年来开始重视设备开发,也出现了一些迎难而上的企业,上海微电子装备就是其中一个。
公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。公司致力于以极致服务,造高端产品,创卓越价值,全天候、全方位、全身心地为顾客提供优质产品和技术服务。
截至2018年12月,上海微电子装备直接持有各类专利及专利申请超过2400项,同时通过建设并参与产业知识产权联盟,进一步整合共享了大量联盟成员知识产权资源,涉及光刻设备、激光应用、检测类、特殊应用类等各大产品技术领域,全面覆盖了上海微电子装备产品的主要销售地域。
上海微电子装备已通过ISO27001信息安全、ISO9000质量管理和ISO14001环境管理等体系的国际认证,力求为客户提供持续、稳定、高品质的产品和服务,并履行一个优秀的高科技企业的社会责任,先后被评为“上海市专利工作和知识产权示范企业”、“国家级知识产权示范企业”、“国家企业技术中心”。
目前这些全球的半导体设备厂商仍是非常赚钱的,因为随着物联网的发展,芯片相关企业对设备的需求还在增加,现在国内企业占比较小,只是在中低端市场上有一定市场份额,技术突破还是它们未来的重点。据相关数据统计,2016年中国半导体设备销售收入总计57.33亿元,同比增长21.5%,这个收入还不到应用材料一年的营收,未来的增长空间很大。