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3.1光学面型偏差的检测

半径偏差:待检光学表面的曲率半径,相对于参考光学表面曲率半径的偏差,以光圈数N表示。

像散偏差:待检光学表面与参考表面在两个相互垂直的方向上的光圈数不等所对应的偏差。

局部偏差:局部干涉条纹不规则程度。

面型偏差的后果:引起波面变形,放大倍率有微小变化,像散差和局部偏差直接影响成像质量。

学习了玻璃样板法:是一种接触的干涉检验法特点:准确,简便,但是易划伤检验面,口径的自重大,温度易产生变形。

重点:高低光圈判别。条纹从中心向边缘移动,则是高光圈,n为正值,>1时着力点在中部,<1时着力点在边缘,条纹移动的弯曲方向相同。低光圈,从边缘向中间移动,n为负值,绝对值>1,着力点在中部,光圈向中心收缩,绝对值<1,着力点在边缘,条纹移动方向和弯曲方向相反。

光圈数的确定,n>1.直径上最多条纹数的一半,n<1.n=h/H。还学习了像散差的度量,局部偏差的度量。

学习了斐索平面干涉仪。对标准平面的要求:1标准平面口径大于被测件口径2.减少自重变形「产生光圈」的影响。3.可选择水银作为基准面4.防震动的影响。准直物镜的相差:1.给出一束垂直射向标准面的平行光。2.要求准直物镜像差引入的测量误差不大于入/100。杂散光的影响:消除措施,1.参考平板做成楔形平板2.在背面涂抹油脂。3.镀增透膜。测量原理。用斐索球面干涉仪,测量曲率半径:分为直接测量,间接测量。

刀口阴影法测量原理:从右向左,切割光束。刀口阴影法测量曲率半径。刀口阴影法测量灵敏度。无像差点:在二次曲面的对称轴上均有一对特殊点,若光源位于其中一点,自该点发出的光线经过曲面反射后,一定会聚于另一点,这一对特殊点称为无像差点。

样板法优点:简便易操作。缺点:易损伤表面光洁度,需要稳定温度时间,需要标准样板,表面要求擦得很干净。

平面干涉仪法优点:不损害表面光洁度,精度高。缺点:需要标准平晶,仪器贵重,对环境要求高。

刀口阴影法优点:检测凹球面时不需要标准样板,检验大口径零件比较方便,灵敏度高,检验迅速。缺点:检验凸球面和平面需要一块标准凹球面,抛物面和双曲面需要标准辅助镜。易受气流影响,不宜定量测量。

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