1.SEMI (Semiconductor Equipment And Materials International) 国际半导体设备与材料产业协会
2.SECS
SECS协议是基于RS-232或TCP/IP的点对点协议，由SECS I/HSMS、SECS II两层及GEM构成
SECS I/HSMS 为传输层，SECS II则把SECS I传输的二进制串翻译成形象直观的格式表示出来，SECS II规范传输资料的标准结构和显示内容，方便使用者查看数据内容。
3.GEM (Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment) 通用设备模型
该标准定义了一套通用的设备的动作以及通信功能的标准。GEM定义了主机方所看到的半导体设备的行为，定义了哪些SECS II消息会在何种状态下被使用。是SECS II的一个子集合。定义了从主机方看到的半导体设备的行为，定义了哪些SECS II消息会在何种状态下被使用。
4.HSMS(High Speed SECS Message Services)高速SECS消息服务
定义了一个通讯的接口接口，适合半导体厂内计算机间利用TCP/IP通讯协议作消息的交换。SECS I是利用RS232的通讯协议作为计算机间的信息传输。
5.EAP(Equipment Automation Process)设备自动化
6.FSM(Finite State Machine)有限自动机
7.STATIONworks
Brooks STATIONworks 是Brooks公司（现已被美国应用材料公司收购）的一套“智能”半导体设备自动化方案，也可以说是一套开放式的框架。它提供了一个通讯桥梁，使得机台与机台之间、工厂的设备与 MES(制造执行系统)之间能够建立更好的通讯连接。STATIONworks包含一个设备接口驱动（driver)库，目前共有150个驱动，这些驱动以设备对象模型（Tool-Object-Model:TOM)的形式提供，利用这些事先创建的驱动，可以简单便捷地实现设备与系统之间的集成。STATIONworks 采用了开放式架构、Harel的基于状态的逻辑引擎，使得CIM(Couputer Integrated Manufacturing 计算机集成制造)人员能够开发出自己的自动化控制逻辑，来提供MES和机台之间的接口。
MES、STATIONworks应用程序以及设备之间的关系如下表：
