韩国化工企业已确立高纯度大量生产氟化氢技术

　　作者：宋星

　　【TechWeb】1 月 3 日消息，据国外媒体报道，韩国产业通商资源部日前表示，韩国化工企业已确立能以高纯度大量生产氟化氢的制造技术。氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。

　　外媒称，韩国化工企业“Soul Brain”新设和扩建了制造工厂，可将液体氟化氢的杂质减少至“1 万亿分之一”。这一纯度可用于要求极高纯度的半导体制造。 

　　韩国经济媒体认为，生产规模将能满足韩国国内 70 至 80％ 左右的需求。

　　去年 9 月，外媒曾报道，三星电子开始在半导体生产线上试用韩国企业加工的氟化氢。

　　外媒当时表示，在高纯度的氟化氢市场，日本厂商大约占据 8 至 9 成份额。三星电子对于是否全面采用日本造以外的氟化氢仍持谨慎态度。