EUV 光刻机到底有多重要?

台积电是华为的生命线

坎掉华为麒麟7nm  百分之20的订单

中芯国际就差一台光刻机

因为放眼全球,目前有能力代工7nm芯片的只有台积电三星两家,而后者是华为在手机市场最大的竞争对手

14nm以下 就只能用 荷兰AMSL公司的 EUV 光刻机。 


14nm够用还是要上7nm?

 

三大巨头众筹EUV光刻机

可是这个技术实在太难了。EUV的能量、破坏性极高,光刻机的所有零件和材料,样样都在挑战人类工艺的极限。

例如,空气分子会干扰EUV光线,生产过程得在真空环境。而且,机械的动作得精确到误差仅以皮秒(兆分之一秒)计。而最关键零件之一,由德国蔡司生产的反射镜得做到史无前例的完美无瑕,瑕疵大小仅能以皮米(纳米的千分之一)计。

这是什么概念?ASML曾做过一个比方,如果反射镜面积有整个德国大,最高的突起处不能高于1厘米。

有人评价,造一台EUV光刻机,难度胜于建造航母,因为要用到材料、光学、机电等领域最尖端的技术

为了支持ASML研发EUV光刻机,Intel三星台积电三大晶圆制造巨头于2012年一起入股了ASML,用38.5亿欧元换来了23%的股份,此外,三家还为ASML的研发项目投资了近50亿美元
 

中国光刻机落后多少年?


 

 

 

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