半导体领域主机与设备通讯的协议SECS/GEM

SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model)是半导体设备和主机进行通信的协议。更确切地说，SECS/GEM是一组协议的统称。下图为SECS/GEM协议的组成，包括SECS-1，HSMS，SECS-II和GEM协议。

SECS-I规定了设备和主机传输时的电气规格、传输速度、消息头等信息。实施上，以RS232为串口的通信标准，采用半双工的通信方式，速度上多采用9600bps，少数使用19200bps。

HSMS(High-Speed SECS Message Services)采用TCP/IP协议传输信息，主要目的是替换掉速度慢的SECS-I。

SECS-II规定了传输数据的标准结构。

GEM(Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)可以理解成是SECS-II协议的一个子集。只需要实现SECS-II里面最常用的功能。

参考资料：

http://blog.sina.com.cn/s/blog_5084db5801014mx3.html

https://wenku.baidu.com/view/233674d680eb6294dd886c2c.html

http://secs.itri.org.tw/about-secs-gem.html