s4800扫描电镜的CSS3_日立S4800扫描电镜中文使用手册

一、介绍

Hitachi

S-4800

场发射扫描电镜采用了新型

ExB

式探测器和电子束减速功能

,

提高了图象质

(15 kV

下分辨率

1 nm)

尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平

(1 kV

1.4

nm)

;新型的透镜系统,提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式

等多种工作模式,使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。

二、操作说明

1

.开机

(

1

)日常开机:打开

Display

的开关,

PC

自动开机进入用户界面并自动运行

PC_SEM

序,以空口令登入。

(

2

)

完全关闭电源后开机:

接通配电盘电源

拔上

MAIN Swith

开关

按一下

Reset

按钮,

MAIN

控制面板上

EVAC POWER

按至

ON

SC EVAC

指示灯处于常绿状态后,等半

小时

按下

Display

开关至

ON, PC

自动开机进入用户界面并自动运行

PC_SEM

程序,以

空口令登入。

2

.图像观察

(

1

)

装入样品

制样

把样品托装入样品座,并用标尺确定高度、旋紧

AIR

按钮

将样品座插在样品

交换杆上,并锁紧

将交换杆拉至尽头卡紧,关闭交换室

按下

EVAC

按钮

按下

OPEN

按钮打开

MV-1

后,推进交换杆,旋转样品杆

UNLOCK

位置后拉出交换杆

按下

CLOSE

按钮。

(

2

)

图像观察及保存

SC

真空恢复正常后(显示为

L E-3

)

选择适当的加速电压(

Vacc

)

加高压

在低倍、

TV

模式下将图像调节清楚

聚焦、消象散

→Slow3

确认图像质量

点击

Capture

按钮拍照

点击右下方

Save

按钮

选择保存位置、使用者及样品信息,保存。

(

3

)

结束观察

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