国内加速度传感器缺口大，国产只能测量x、y轴力

众所周知我国高铁是当前是世界上最先进的，其快速平稳的特点受到了来自世界各地人民的称赞。高速运行的列车想要保持平稳，必定需要一个中枢大脑实时的经行跟踪检测，这其中加速度传感器就扮演着这个角色。

加速度传感器负责对动车组的失稳、车厢舒适度和走行部件健康状态进行检测，广泛应用于轨道交通系统。

“要保证动车组高速平稳行驶，首先要由加速度传感器对来自X（轴）、Y（径）和Z（垂）向的应力进行实时监测，并将电信号传输给列车指挥系统。”北京交通大学教授秦勇告诉科技日报记者，加速度敏感器件负责完成电信号的传输，是高端加速度传感器中的核心部件。

我国轨道交通的快速发展对加速度传感器的需求巨大，但是我国在加速度传感器行业的生产力技术有限，不能满足国内的市场，进口达到80%以上。

加速度敏感器件属高端芯片，多采用MEMS工艺制造。

MEMS是一门综合学科，涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、原子、表面等物理学的各分支，乃至化学、生物、医学和仪器等各领域，学科交叉很强，研究难度很大。

“MEMS工艺则是在传统的半导体工艺和材料基础上，利用平面硅加工工艺、体硅加工工艺等微纳米技术，在硅片上制造微型机械敏感器件，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。”相比传统的厘米级机械器件，MEMS器件尺寸非常微小，长度从1毫米到1微米，而一根头发丝的直径大约是50微米。

目前全球拥有整个MEMS产业链的公司基本为美日欧公司，有博世、霍尼韦尔、ST（意法半导体）、索尼、ALLEGRO、AKM、TDK、英飞凌等，全球市场占有率达90%以上。

为保障高铁的故障率仅允许的百万分之一，高可靠性的敏感元器件，是加速度传感器集成商的必然选择。吕阳透露，目前世界最先进的敏感器件为三轴，标准为零点偏置±50mg甚至更小、零点温度误差±1mg/℃、灵敏度温度误差±100ppm/℃、噪声低至30μg/√Hz，且使用寿命基本在10年以上。

而国内规模最大的专做MEMS的企业目前能形成量产的还是两轴产品，仅能测量X、Y向。

起步晚、人才匮乏、资金不足是我国加速度传感器落后于世界的原因，未来我国传感器企业想要获的更多的订单，一定要努力提升硬实力，在研发和人才引进培养上多下功夫，发扬我国集中力量办大事的风格，追上国际先进水平。

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