3D成像测量仪器有哪些？

3D成像技术实现了二维到三维的升级。智能化制造下，具有3D成像功能的机器视觉系统可以更快，更准确地检查生产现场的组件。其中表面形貌的3D测量，包括了轮廓的测量以及表面粗糙度的测量，是微纳结构测量最为基础和重要的项目。目前常用的微结构表面形貌测量方法分为接触式和非接触式。

运用非接触式测量技术的3D光学检测仪器，大多是基于光学方法（干涉显微法、自动聚焦法、激光干涉法、光学显微干涉法等），可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量，在微纳米结构检测中有着重要意义。

1、自动聚焦法-影像测量仪
自动聚焦法是基于几何光学的物象共轭关系，能使得场景目标在成像系统中准确清晰成像的某种自动调节过程，当照明光斑汇聚在被测面时，进一步调整检测头与表面的距离，直至光斑像尺寸最小而得到该被测位置的相对高度。
· 全自动影像测量仪能充分发挥光学电动变倍镜头高精度优势。
**·**支持点激光轮廓扫描测量，进行高度方向上的轮廓测量；
**·**支持线激光3D扫描成像，可实现3D扫描成像和空间测量；
**·**支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，提升测量效率；
**·**具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。

2、共焦激光扫描显微法-共聚焦显微镜
激光共焦扫描显微术是一项高分辨率三维光学成像技术。利用精密共焦空间滤波结构，通过物象共轭关系滤除焦点外的反射光，提高成像的可见度。共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔，其中一个放在光源前面，另一个放在探测器前面。得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄，通过所累积的不同焦平面的图像序列，使用软件编译完整的 3d 图像。

共聚焦显微镜具有粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。基于激光共聚焦显微测量技术，配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；对大坡度的产品有更好的成像效果，能在满足精度的情况下使使用场景更具兼容性。在材料生产领域中提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

3、光学显微干涉法-白光干涉仪
干涉显微法是光学干涉法与显微系统相结合的产物，通过在干涉仪上增加显微放大视觉系统，提高了干涉图的横向分辨率，使之能够完成微纳结构的三维表面形貌测量。

白光干涉仪是一个光学干涉显微测量系统，基于白光干涉原理研制而成，采用扩展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型。主要用于对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

直接测量透明的样件表面：

高精度仪器设备需求不断推动着微纳米技术向前发展，因此高精度的微纳检测技术也成为了必然需求。根据不同测量要求，每种高精度测量仪器都有其适用性，在选设备的时候要根据具体需求来选择。