如何理解方块电阻与宽度的关系（RPSQ_VS_SI_WIDTH）

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来自星球提问:

解释如下:

单看方块电阻的公式，Rs＝电阻率/厚度

 

在半导体制造过程中，由于工艺偏差，电阻跟金属线的density是相关的。此时，电阻率是线宽跟线间距的函数。这一关系，在foundry给的工艺文件里都有相应的描述，这些都是在抽RC时需要考虑的因素。Resistivity as a Function of Width and Spacing (Rs = f(W) or rho=f(W,S))

 

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