如何避免扫描电镜样品表面的“热伪影”现象

扫描电镜样品表面的 "热伪影" 现象通常是由于电子束的高能量导致的。这种现象可能会导致样品局部升温，影响成像和分析结果。以下是一些避免或减轻热伪影的方法：

低电子束能量：降低电子束的能量，特别是在高分辨率成像之前。降低电子束能量可以减少热伪影的潜在影响。

低电子束流密度：减小电子束的流密度，即每单位面积的电子束束流。这可以通过调整电子束的亮度或束团大小来实现。

快速扫描模式：使用快速扫描模式可以减少电子束停留在样品表面的时间，从而减小热伪影的可能性。

预冷样品：在进行高倍率扫描之前，可以将样品冷却到低温，以减少样品加热。

使用低温样品台：一些扫描电镜配备了低温样品台，可以在成像时保持样品低温，从而减轻热伪影。

样品制备：在进行扫描电镜成像前，确保样品的制备质量，避免过大的不均匀区域或凹陷，以减少电子束的局部能量损耗。

实验参数优化：根据特定的样品和实验需求，优化扫描电镜的参数，以找到高质量的成像条件。

热伪影是一个需要仔细处理的问题，因为它可能会导致图像质量下降和分析误差。通过合理选择实验参数和采取适当的预防措施，可以减小热伪影的影响。

泽攸科技ZEM20台式扫描电镜

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司， 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来，研发团队一直致力于为纳米科学研究提供卓越的仪器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统、原位SEM测量系统、ZEM系列台式扫描电镜、JS系列台阶仪、纳米位移台、二维材料转移台、探针台及低温系统、光栅尺等在类的多个产品线，在国内外均获得了高度关注，填补了国家在高端精密仪器领域的诸多空白。

原文参考：https://www.zeptools.cn/news_detail/140.html