PTFE和PFA,谁更适合应用于半导体行业?

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PTFE(聚四氟乙烯)是第一个被半导体工业采用的含氟聚合物,其次是PFA(过氟烷基化物)。

区别:

1.PFA是可熔化加工的,它是可以加热到熔化,通过注塑成型或者吹塑成型;PTFE必须通过机械加工或者压缩成型。

2.PFA更清洁。“清洁”是指使用PFA制造比用PTFE制造的部件痕量金属含量更低,原因在于:制造工艺不同,PFA使用的注塑或者吹塑工艺比PTFE所使用的机械加工和压缩成型过程要清洁的多;PFA原料本身是高纯度等级,而PTFE一般无法达到相同纯度等级。

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半导体生产过程中,清洗工艺尤其关键。

清洗过程中的效率和精确性直接影响到半导体芯片的质量和性能。

PFA耗材是清洗工艺里不可或缺的产品

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电子级取样瓶

湿电子化学品—半导体、微电子、光电子湿法工艺(湿法刻蚀、清洗、

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PFA烧杯

显影、互联等)制程中使用的各种电子化工材料。

按照SEMI登记的分类,湿电子化学品可划分为G1-G5五个等级:

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按用途分为通用化学品(高纯试剂)和功能性化学品(以光刻胶配套的试剂为代表)。

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国内生产相关高纯试剂生产企业(多氟多、滨化股份,新宙邦等),部分企业一直在使用我们的PFA产品。

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PFA清洗槽

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PFA托盘

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