Silicon on insulator(SOI) 绝缘体上硅

Silicon on insulator绝缘体上硅

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引言

在硅光领域,很多时候我们都会听到一个名称,绝缘体上硅( S O I SOI SOI),那么什么是 S O I SOI SOI 呢?这里给大家介绍一下。

正文

其实这个问题的答案已经包含在本身的名称中了,即在绝缘体上的硅,在硅光领域的芯片生产中,通常我们会在基底 S i O 2 SiO_2 SiO2 上放上一层硅,这种 S i Si Si 在 绝缘体 S i O 2 SiO_2 SiO2 上的结构就被称作绝缘体上硅。

S i Si Si 对于波长范围 1.1 − 3.6    u m 1.1-3.6\; um 1.13.6um 的光波都是透明的,因此,我们可以使得这个波段的光波在 S i Si Si 中传输,并且具有很小的损耗。当硅被放置在绝缘体上时,外部包层如果我们采用空气,那么使用特定的 S i Si Si 结构,光波就可以被限制在该结构中进行传输,该结构我们通常也称之为波导。

示意图

Silicon on insulator(SOI) 绝缘体上硅_第1张图片

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