通讯协议-SECS/GEM

SECS

SECS（SEMI Equipment Communication standard）是由国际半导体设备与材料协会SEMI开发的半导体设备通讯标准，用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯
包括四个标准，分为物理部分和逻辑部分

• 物理部分：主要定义了电气规格、传输速度、交握码等物理信息，
  • SECS-I：属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，通过 RS-232通信来传送SECS-II 数据的规范
  • HSMS：定义了使用 TCP/IP 作为物理传输媒质时的通信接口，属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，使用的传输媒质是以太网。通过以太网来传送SECS-II 数据的规范。
• 逻辑部分：规范了传送资料的标准结构（解析SECS-I，便于阅读）
  • SECS-II：属于消息格式标准，定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。SECS-II协议封装了 SECS-I 和 HSMS，在它们的基础上定义了半导体设备的通信格式。
  • GEM：GEM则在SECS-II的基础上定义了半导体生产制造过程中的交互行为，属于设备功能标准，定义了通过通信链路所能看到的设备接口，指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。
    

SECS-I 通讯标准