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2020-02-13小刘科研笔记之光刻技术中的衬底粘附性问题小刘学光电
在光刻工艺中遇到衬底粘附性差的情况下，是如何通过调整试验方法解决的。Question：此次的工艺是需要在某款负胶上进行紫外光刻，光刻胶参数为：厚2.6μm，线条宽度1.5μm，基底材料为Si上一种特殊的薄膜。我们希望在光刻胶上得到的是和光刻版一样的图形。下图为该光刻版部分图形：Analysis：通常来说，使用此种负胶在硅基和Ⅲ-Ⅴ族材料上进行光刻时，是不需要进行表面处理的。我们先来看一下未经过HM
2020-02-12小刘科研笔记之光刻工艺的实操小刘学光电
光刻（lithography）是芯片制造中的一项最为关键的技术，也是微纳器件制备过程中必不可少的一道工艺。一般我们将光刻工艺分为8个步骤：气相成底膜、旋转涂胶、软烘、对准和曝光、曝光后烘、显影、显影检查、坚膜烘焙。华慧高芯网旗下的光刻设备JEOLJBX-9500FS国际最高水准的EBL设备STEP1-气相成底膜气相成底膜：晶圆表面涂布一层HMDS（六甲基二硅胺烷）作为増粘剤，使光刻胶能够牢固的粘在
【图神经网络 · 科研笔记5】异构信息网络，利用注意力选择元路径；利用进化邻域和社群实现自监督动态图嵌入，交叉监督对比学习；近期科研思维导图小汇总；追光者♂ 百题千解计划(项目实战案例）元路径异构图信息传递动态图嵌入自监督学习对比学习 GCN
记录部分科研文献阅读相关内容【划重点】，主题“图神经网络”，仅学习使用。作者主页：追光者♂个人简介：[1]CSDN博客专家[2]人工智能领域优质创作者[3]2023年城市之星领跑者TOP1(哈尔滨)[4]2022年度博客之星人工智能领域TOP4[5]阿里云社区特邀专家博主
2020-02-06-1小刘科研笔记之光刻工艺中的关键材料--光刻胶（完结）小刘学光电
下文主要记录光刻胶的性能指标。高性能光刻胶的指标有很多：高灵敏度、高对比度、高分辨率、优良的抗刻蚀能力、长寿命周期，低溶解度、低成本和较高的玻璃化转变温度等。其中，主要衡量光刻胶性能的指标为灵敏度、分辨率和对比度。光刻胶的性能指标1光刻胶的灵敏度灵敏度是指单位面积上入射的使光刻胶全部发生反应的最小光能量（对紫外光刻胶而言）或最小电荷量（对电子束光刻胶而言）。数值越小表明灵敏度越高，曝光所需的剂量相
2020-02-11-2小刘科研笔记之RIE反应离子刻蚀机小刘学光电
随着大规模集成电路制造朝着更高集成度、更小关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展，对刻蚀工艺的精度要求越来越高，所以湿法刻蚀的图形保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等不适用于小尺寸器件刻蚀工艺，进而催生出干法刻蚀工艺，本文主要为自身接触设备当今主流干法刻蚀机--RIE的相关知识记录。一、工作原理在低气压及放电管两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区，但
科研笔记第13期——热力图绘制哩哩橙笔记
目录一、基本原理二、MATLAB源代码三、运行结果一、基本原理热力图（Heatmap）是一种二维图表，通过使用颜色编码来表示数据的相对值。它通常用于可视化矩阵或网格数据，其中每个单元格的数值通过颜色的深浅来表示。热力图又名相关系数图。根据热力图中不同方块颜色对应的相关系数的大小，可以判断出变量之间相关性的大小。两个变量之间相关系数的计算公式为:二、MATLAB源代码%%随机生成相关性系数矩阵clc
科研笔记第14期——立体切片图绘制哩哩橙 1024程序员节
由于V（x,y,z）为三元函数，，无法直接绘制其函数图像，为了观察函数值在空间中的分布情况，故调用slice函数绘制立体切片图。一、相关函数命令slice(X,Y,Z,V,xslice,yslice,zslice)为体积数据V绘制切片。指定X,Y和Z作为坐标数据。指定xslice,ysslice和zslice作为切片位置，使用以下形式之一:（1）若要绘制一个或多个与特定轴正交的切片平面，请将切片参
科研笔记第6期——Matlab 如何提取 fig 文件中的数据哩哩橙笔记 matlab 开发语言青少年编程汇编
有时候运行的程序只保存了fig文件，而没有保存原始数据，当需要对fig文件中的数据进行分析和处理时就会犯难了。本文详细介绍Matlab如何提取fig文件中的数据，并提供原创的m函数，可方便实现各类figure图形提取数据。一、方法一1.1示例fig图例如现在有一个保存的图形：1.2源程序clcclearall%第一步打开fig文件；%第二步：获取line句柄ha=get(gcf,'Children
科研笔记第7期——Matlab 绘制局部放大图哩哩橙笔记
目录步骤（1）步骤（2）步骤（3）步骤（4）步骤（5）在写作论文时，经常需要对不同方法（仅有略微差别）进行比较，此时需要局部放大图发挥作用。绘制局部放大图步骤可分为以下几个步骤：步骤（1）生成figure结果图x=0:pi/100:2*pi;y1=sin(x);plot(x,y1,'r-o');holdony2=sin(x)-0.05;y3=sin(x)+0.05;xlim([02*pi]);yl
科研笔记第8期——隐函数ezplot绘图哩哩橙笔记人工智能 matlab
目录一、相关函数命令二、源程序三、运行结果四、参考内容如果函数用隐函数的形式给出，很难用plot函数绘制，MATLAB提供了一个ezplot函数绘制隐函数图形的方法。一、相关函数命令①对于函数f=f(x),ezplot函数的条用格式为：ezplot（f）:在默认区间-2Π
科研笔记第12期——置信区间颜色绘制哩哩橙笔记
置信区间是指由样本统计量所构造的总体参数的估计区间。在统计学中，一个概率样本的置信区间（Confidenceinterval）是对这个样本的某个总体参数的区间估计。置信区间展现的是这个参数的真实值有一定概率落在测量结果的周围的程度，其给出的是被测量参数的测量值的可信程度，即前面所要求的“一个概率”。在区间预测时填充颜色是很有必要的。一、相关函数命令1）fill(x,y,‘color’)功能：以x为
科研笔记第5期——箱型图和误差棒图哩哩橙笔记
目录一、箱型图1.1相关函数命令1.2源程序1.3运行结果二、误差棒图2.1相关函数命令2.2源程序2.3输出结果三、参考内容一、箱型图箱形图（Box-plot）是一种用作显示一组数据分散情况资料的统计图，常见于品质管理。它主要用于反映原始数据分布的特征，还可以进行多组数据分布特征的比较。箱线图的绘制方法是：先找出一组数据的上边缘、下边缘、中位数和两个四分位数；然后，连接两个四分位数画出箱体；再将
科研笔记第三期——一条文章带你玩转柱状图哩哩橙笔记 matlab 科技
目录一、柱状图/条形图基础二、具有分布拟合的直方图（histfit）三、柱状图/条形图重叠四、柱状图/条形图正负填充颜色不同五、柱状图/条形图添加数字六、参考内容一、柱状图/条形图基础例1：bar（y）为y中的每个元素创建一个条形图。如果y是矩阵，则bar根据y中的行对条形图进行分组。分别以纵向和横向为例：y=[7591105123.5131150179203226249281.5];bar(y)
本地任意markdown工具和文件中一键插入图像（用一种优雅的方式在本地markdown文件中插入网络图片文件）阮少年、服务器运维 python markdown 脚本开发语言
用一种优雅的方式在markdown文件中插入图片文件很多人用markdown语法记笔记，比如我，无论是做软件开发的时候，还是做科研笔记，我都喜欢用markdown语法来写，这是因为我习惯用git来存我的文献和笔记，而且我不喜欢使用第三方笔记软件因为命根子在别人手里（备忘录、印象笔记、有道云笔记），再者我还想轻量化且可以跨平台。所以最后就选择了markdown语法。在网页中写markdown语法可以
2020-02-28小刘科研笔记之以2 um线宽为例，浅析紫外光刻之多种曝光模式小刘学光电
本篇笔记来源于日常实验工作中的某一个案例。一、实验设备介绍SUSS紫外光刻机是设计用于实验室研发，小批量生产的高分辨率光刻系统。SUSS紫外光刻机具有以下几个特点：1、样品尺寸选择性多：2英寸，3英寸，4英寸，6英寸和不规则小片恒定光强2、曝光模式多样：真空曝光（vac），硬接触（hard），软接触（soft），近邻（prox）3、最小线宽：0.8μm（真空模式）4、对准精度：0.5μm5、X-和
扩散模型+CV与NLP科研笔记专栏文章汇总：【Diffusion Models】旋转的油纸伞扩散模型+CV与NLP科研笔记机器学习算法扩散模型 DDPM 生成模型
扩散模型专栏文章汇总：【DiffusionModels】1、[0基础学习diffusion_model扩散模型【易理解的公式推导】DenoisingDiffusionProbabilisticModels](https://blog.csdn.net/qq_45934285/article/details/129107994)2、[扩散模型DDPM开源代码的剖析【对应公式与作者给的开源项目，dif
2020-02-24小刘科研笔记之几种常见的研磨抛光液的优劣势分析小刘学光电
研磨抛光是半导体加工过程中的一项重要工艺，主要应用于半导体表面进行加工，研磨液、抛光液是影响半导体表面质量的重要因素。一、简析几种常见的研磨液的优劣势研磨是半导体加工过程中的一项重要工艺，它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工，这种化学研磨工艺几乎涉及到半导体制程中的各个环节，研磨液是影响半导体表面质量的重要因素。1.常见研磨液：（1）氧化铝研磨液对于研磨工件产品，品种多；可
2020-03-05小刘科研笔记之电子束光刻中的临近效应以及其修正的方法小刘学光电
近年来，电子束光刻的众多优势凸显出来，通过电子束直写的形式将图形直接转移到晶圆上，不需掩膜版，直写线宽最小可达10nm，然而这种方法也存在一些不足，像曝光时间长，价格昂贵，因电子散射问题引起临近效应等。图1华慧高芯电子束光刻设备JEOLJBX-9500FS电子束曝光机台一、产生临近效应的原因光刻过程中当图形尺寸接近分辨率极限，图形关键尺寸与相邻线宽变化较大时会出现临近效应，产生的主要原因是高能电子
要有自己的科研笔记饮食有度的元气少女科研笔记
区分笔记和草稿纸的区别，草稿的部分写在草稿纸上，笔记本上要记录关键的操作步骤以及关键的参数。对待笔记本，要像对待衣柜里整齐的衣服一样，要整齐。幸运藏在这份整齐里。永远都要做一个让别人放心的人。
2020-02-08-1小刘科研笔记之半导体材料的研磨抛光小刘学光电
昨日因为工作内容太多，加上一直学习，就没能更新，实属抱歉！磨削和研磨等磨料处理是生产半导体芯片的必要方式，然而研磨会导致芯片表面的完整性变差。因此，抛光的一致性、均匀性和表面粗糙度对生产芯片来说是十分重要的。研磨与抛光的区别研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。研磨可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥
科研笔记：TPAMI submission guideline UQI-LIUWJ 科研笔记人工智能深度学习
1authorinformationAuthorInformation-IEEETransactionsonPatternAnalysisandMachineIntelligence|IEEEComputerSocietyDigitalLibrary1.1会议期刊extension当一个TPAMI的提交基于之前的会议论文时，IEEE要求期刊论文是之前出版物的“实质性修订”(通常认为30%是“实质性
科研笔记：cover letter（摘抄） UQI-LIUWJ 科研笔记
1模板1一投就中，亲身top刊投稿信（coverletter）教学模版-知乎(zhihu.com)Coverletter一般分三个部分：开头，点名文章，投稿期刊。中间部分，写清文章研究内容，创新点，方法与结论。（我会分成两个段落）结尾，文章资助信息，利益冲突，表达期望。DearEditors-in-ChiefofXXX（刊物）,Wewouldliketosubmitanoriginalresear
2020-02-10-2小刘科研笔记之PECVD等离子体增强化学气相沉积小刘学光电
一、什么是PECVDPECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD）。二、PECVD技术的原理物质普遍存在的形态与一定数量级的结合能基本上是一一对应的。我们一般会把固态称之为物质
2020-02-29小刘科研笔记之简析在实际应用中，影响ICP刻蚀效果的因素小刘学光电
在感应耦合等离子体刻蚀的工艺中，影响刻蚀形貌的因素很多，如：工艺参数里有源功率、RF功率、流量比、工作压力、He压、内壁温度。另外，chiller到温时间、掩模形貌，甚至反应室的内壁清洁度都会影响到刻蚀的效果。此文简单记录并分析影响ICP刻蚀效果的因素。一、华慧高芯ICP设备华慧高芯网SamcoICP-200IP华慧高芯网OxfordPlasmaProSystem100ICP180二、影响因素（一
2020-02-08-2小刘科研笔记之FIB-SEM双束系统在材料研究中的应用小刘学光电
聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统，同时具备微纳加工和成像的功能，广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文记录一下FIB-SEM在材料研究中的应用。一、双束系统的主要部件和功能以目前实验室配有的FIB-SEM的型号是蔡司的Crossbeam540为例进行如下分析，离子束最高成像分辨率为3nm，电子束最高分辨率为0.9nm。该系统的
2020-02-25小刘科研笔记之电子束光刻的影响因素——前散射小刘学光电
电子束光刻有着较高的灵活性和分辨率，但在实际应用中，设计的图形与最终曝光得到的图形都会存在一定的偏差。造成这一现象的原因有很多，除了工艺上的影响之外，一个重要的因素是电子束的邻近效应：电子在光刻胶和衬底中受到散射，使电子偏离原来的入射方向，使得邻近不应该曝光的区域被曝光了，有些应该曝光的区域得不到足够的曝光，从而引起图形的改变。华慧高芯网电子束光刻系统：JEOLJBX-9500FS前散射对光刻胶的
MATLAB | 如何绘制这样的描边散点图？ slandarer matlab 数学建模
part.-1前前言最近略忙可能更新的内容会比较简单，见谅哇，今日更新内容：part.0前言看到gzhBYtools科研笔记(推荐大家可以去瞅瞅，有很多有意思的图形的R语言复现！！)做了这样一张图：感觉很有意思，但是作者是使用R语言+Adobeillustrator进行完成的，于是俺就想试试能不能用MATLAB来进行完成。该图是出自论文：Li,Pu-Dong&Zhu,Zeng-Rong&Zhang
2020-02-12小刘科研笔记之激光共聚焦原子力显微镜小刘学光电
形貌、成分和结构的表征是材料的生长、鉴别、加工、研究和应用等过程中很重要的一个步骤。本篇笔记将以华慧高芯网激光共聚焦原子力显微镜为例描述该设备在材料表征的功能与应用。▲华慧高芯激光共聚焦显微镜OLYMPUSLEXTOLS4500一、激光共聚焦原子力显微镜特点激光共聚焦原子力显微镜具有常规光学显微镜、激光显微镜、原子力显微镜三种功能，常规光学显微镜和激光显微镜同轴，其中激光显微镜采用405nm激光光
2020-02-27小刘科研笔记之影响超声清洗效果因素小刘学光电
超声清洗是大功率超声领域中最为普遍，应用最为广泛的清洗方法和应用技术。超声清洗不仅清洗效率高、效果好，而且可以对复杂零件、半导体、电子器件进行清洗，对于污染物的清洗范围也非常广泛，大到尘埃、油污等普通的污染物，也可以清洗带放射性和微米级的杂质粒子。为了得到更佳的清洗效果，从增加超声强度和寻找适合的清洗液这两个方向展开探讨。华慧高芯网实验室洗台之一超声清洗的流程：向盛有清洗液的清洗槽中导入超声波，然
科研笔记：一些有用的网站整理（更新中） UQI-LIUWJ 笔记
1论文整理网站整理AI相关领域的一些综述GitHub-KaiyuanGao/AI-Surveys:整理AI相关领域的一些综述时间序列的paper/code汇总GitHub-qingsongedu/awesome-AI-for-time-series-papers:AprofessionallistofPapers,Tutorials,andSurveysonAIforTimeSeriesintop
VMware Workstation 11 或者 VMware Player 7安装MAC OS X 10.10 Yosemite iwindyforest vmware mac os 10.10 workstation player
最近尝试了下VMware下安装MacOS 系统，安装过程中发现网上可供参考的文章都是VMware Workstation 10以下， MacOS X 10.9以下的文章，只能提供大概的思路，但是实际安装起来由于版本问题，走了不少弯路，所以我尝试写以下总结，希望能给有兴趣安装OSX的人提供一点帮助。写在前面的话：其实安装好后发现，由于我的th
关于《基于模型驱动的B/S在线开发平台》源代码开源的疑虑？ deathwknight JavaScript java 框架
本人从学习Java开发到现在已有10年整，从一个要自学 java买成javascript的小菜鸟，成长为只会java和javascript语言的老菜鸟（个人邮箱：[email protected]）一路走来，跌跌撞撞。用自己的三年多业余时间，瞎搞一个小东西（基于模型驱动的B/S在线开发平台，非MVC框架、非代码生成）。希望与大家一起分享，同时有许些疑虑，希望有人可以交流下平台
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创建Web工程，使用eclipse ee创建maven web工程 1.右键项目,选择Project Facets,点击Convert to faceted from 2.更改Dynamic Web Module的Version为2.5.(3.0为Java7的,Tomcat6不支持). 如果提示错误,可能需要在Java Compiler设置Compiler compl
主管？？？ Array_06 工作
转载：http://www.blogjava.net/fastzch/archive/2010/11/25/339054.html 很久以前跟同事参加的培训，同事整理得很详细，必须得转！前段时间，公司有组织中高阶主管及其培养干部进行了为期三天的管理训练培训。三天的课程下来，虽然内容较多，因对老师三天来的课程内容深有感触，故借着整理学习心得的机会，将三天来的培训课程做了一个
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作为一个合格程序员每天该做的事 1、总结自己一天任务的完成情况最好的方式是写工作日志，把自己今天完成了什么事情，遇见了什么问题都记录下来，日后翻看好处多多 2、考虑自己明天应该做的主要工作把明天要做的事情列出来，并按照优先级排列，第二天应该把自己效率最高的时间分配给最重要的工作 3、考虑自己一天工作中失误的地方，并想出避免下一次再犯的方法出错不要紧，最重
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前言项目中存在视频播放的功能，前期设计是以flash播放器播放视频的。但是现在由于需要兼容苹果的设备，必须采用html5的方式来播放视频。我就出于兴趣对html5播放视频做了简单的了解，不了解不知道，水真是很深。本文所记录的知识一些浅尝辄止的知识，说起来很惭愧。视频结构本该直接介绍html5的<video>的，但鉴于本人对视频
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变与不变 bingyingao 不变变亲情永恒
变与不变周末骑车转到了五年前租住的小区，曾经最爱吃的西北面馆、江西水饺、手工拉面早已不在，各种店铺都换了好几茬，这些是变的。三年前还很流行的一款手机在今天看起来已经落后的不像样子。三年前还运行的好好的一家公司，今天也已经不复存在。一座座高楼拔地而起，
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Spark的RDD作为一个分布式不可变的数据集合，它提供的转换操作，很多是借鉴于Scala的集合框架提供的一些函数，因此，有必要对Scala的集合进行详细的了解 1. 泛型集合都是协变的，对于List而言，如果B是A的子类，那么List[B]也是List[A]的子类，即可以把List[B]的实例赋值给List[A]变量 2. 给变量赋值(注意val关键字，a，b
Nested Functions in C bookjovi c closure
Nested Functions 又称closure，属于functional language中的概念，一直以为C中是不支持closure的，现在看来我错了，不过C标准中是不支持的，而GCC支持。既然GCC支持了closure，那么 lexical scoping自然也支持了，同时在C中label也是可以在nested functions中自由跳转的
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