半导体设备数据收集系统-EDA

EDA接口成套标准主要集中在两个主要能力上。第一个，由SEMI E125定义是设备自我描述（或元数据）。第二，数据的收集，由SEMI E134定义。
SEMI E125，设备自我描述 - 定义设备元数据，并为客户提供信息服务，以便从设备中获取元数据定义。元数据是建立在E120设备模型的结构元素之上的（见图1）。SEMI E125定义了元数据中应包含的某些背景信息，但它没有规定大多数数据使用者应用所需的特定过程和组件数据。
SEMI E134，数据收集管理 - 定义了客户/用户定义和控制数据收集计划（DCPs）的方法。DCP可以指定事件数据收集、跟踪数据收集和异常报告。
SEMI E147对EDA提供了一个有用的技术概述。
SEMI E147，设备数据采集指南 - 为EDA的实施者提供有用的信息和解释。
除了SEMI E125和E134之外，还需要其他几个来全面定义EDA。这套体系的其余成员如下：
SEMI E120，通用设备模型 - 提供创建设备结构模型的工具。SEMI E125提供了为结构元素添加参数、状态模型、异常情况和SEMI对象的结构要素。
SEMI E128，XML消息结构 – 定义了EDA使用的基本XML / SOAP消息传递方法。
SEMI E132，设备客户端身份验证和授权 – 定义EDA消息传递的安全性，包括对设备绑定消息内容的加密，以及将客户端访问限制为仅具有适当功能的方式。
SEMI E138，XML半导体通用组件 - 定义了通用数据类型的定义和通用错误类以及通用错误代码。
SEMI E145，XML中测量单位符号的分类 - 定义了基本的单位符号和构建更复杂/复合单位的方法。