SECS\GEM RMS系统简介

前言

转眼已在半导体行业工作了5个年头，慢慢的对半导体的工艺和设备从不懂小白也转换成了小有了解，因为经常要面对产线设备生产过程中出现的问题并要去解决它，所以对GEM流程和SECS协议也比较好认知。

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一、SECS/GEM是什么？

SEMI SECS/GEM标准概述

SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标准E30，被定义为制造设备实现通讯和控制的一般模型。一般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境，来让工厂软件能够控制并监视制造设备。正式名称是SEMI连接性标准E30。在实现SECS/GEM标准的工厂内，存在主机和设备这两方。由设备在其中一台必须实施和遵守SEMI E30标准的计算机上运行软件。由制造商（工厂）运行与设备接口建立通讯的主机软件。主机无需遵守完整的连接性标准，因为它只设定设备的预期行为。不过，若要使用接口，主机必须进行主机端通讯。SECS/GEM为每条可能的主机信息设定了清晰的设备预期行为。

通讯

SECS/GEM SEMI连接性标准定义了主机和设备开始建立通讯的方式，并且还定义了当通讯中断时重新建立通讯的方式。在线识别方法负责验证设备的硬件和软件标识。终端服务功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上交换手动输入的文本。

控制

SECS/GEM SEMI连接性标准概括了主机与设备操作员之间的合作等级的控制状态模型。设备提供三种基本的主机控制等级：离线，在线/本地，以及在线/远程，确定了主机控制和监控设备的能力。设备操作员设定主机控制的等级。远程控制功能允许主机发送诸如“启动”、“停止”、“暂停”、“继续”和“中断”这样的指令，用以控制设备的工作过程。

二、RMS系统是什么？

RMS全称Equipment Recipe Manager System，也有叫EAP( Equipment Automation Process),只是个不同的叫法，其实原理都一样，都是通过SECS\GEM通讯协议与设备交互，主要的目的
1、提高半导体工厂的生产效率
2、避免人工操作失误
3、与MES，EPC等系统整合，校验产品信息
4、收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据
RMS系统组成包含设备通讯模块、MES通讯模块、Recipe管理模块、设备生产监控模块等