Pfeiffer 涡轮分子泵常见故障

上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养，常见的故障情况如下
 

1.分子泵真空度正常，可以达到全速，但是噪音大：分子泵运行超过3年，可能内部陶瓷球轴承已磨损，建议送到上海伯东 Hakuto 进行拆解检测；如果放任不管，后续会磨损转子，对泵体内部造成更严重的损伤
 

2.油棉污染：油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，.减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

3.分子泵无法启动：用手拨动叶片，叶片无法转动，转子已完全卡死，需要立即送修我司检测
 

4.异物进入分子泵：工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时，会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害，建议立即停机送修检测。
 

5.分子泵无法达到全速，真空度抽不下去：请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测

6.分子泵返油：
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上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
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