Pfeiffer 涡轮分子泵常见故障

上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列,采用复合轴承设计,内部主要由陶瓷球轴承,转子轴,安全轴承和磁性轴承组成,正常运行3-4年建议做一次标准保养,常见的故障情况如下
 

1.分子泵真空度正常,可以达到全速,但是噪音大:分子泵运行超过3年,可能内部陶瓷球轴承已磨损,建议送到上海伯东 Hakuto 进行拆解检测;如果放任不管,后续会磨损转子,对泵体内部造成更严重的损伤
 

2.油棉污染:油棉变黑,发黄,建议3-4年更换分子泵油棉,Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式,可以给轴承降温,.减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承,避免污染物附着在轴承上面,有效延长分子泵的使用寿命。

3.分子泵无法启动:用手拨动叶片,叶片无法转动,转子已完全卡死,需要立即送修我司检测
 

4.异物进入分子泵:工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时,会对高速旋转的叶片和转子造成巨大损害,建议立即停机送修检测。
 

5.分子泵无法达到全速,真空度抽不下去:请检查前级真空是否正常,如果是分子泵组,请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下,无法解决问题建议立即送修检测

6.分子泵返油
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Pfeiffer 涡轮分子泵常见故障_第1张图片
Pfeiffer 涡轮分子泵常见故障_第2张图片

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